[發明專利]一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽

在審

• 申請號: 201811523705.6
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN111318538A
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 湖北浚山光電有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;F26B25/00;G03F1/82
• 代理公司: 黃石市三益專利商標事務所 42109
• 代理人: 饒卓識

1.一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽，包括一個上端開口的矩形槽體，其特征是：槽體一側壁外側裝有一根豎直的抽風管，抽風管下端裝有引風機，抽風管頂端裝有一根與抽風管連通的引風管，引風管向脫水槽前端的清洗槽方向延伸，引風管上設有若干個風孔；抽風管上裝有兩根穿入脫水槽槽體內的脫水管，其中一根位于脫水槽上端，另一根位于脫水槽下端。

2.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽，其特征是：所述抽風管底端裝有埋入地下且引出外部的排氣管。

3.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽，其特征是：所述槽體兩側壁上裝有向清洗系統外部延伸的支撐壁，每個支撐壁上裝有用于將裝載金屬掩膜板的吊具向清洗系統外輸送的輸送裝置。

4.根據權利要求3所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽，其特征是：輸送輸送裝置包括固定安裝在支撐壁上的水平的支撐梁，支撐壁外端裝有傳動齒輪，支撐壁內端或槽體側壁上裝有驅動齒輪，驅動齒輪上裝有減速電機，驅動齒輪與傳動齒輪上繞裝有一根循環的鏈條，鏈條位于支撐梁上方的部分固定裝有一塊沿支撐梁滑動的滑板，滑板頂部裝有用于承托吊具的支撐塊。

5.根據權利要求4所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的脫水槽，其特征是：所述支撐壁外端裝有接近開關，接近開關與減速電機電氣連接，滑板或支撐塊移動到接近開關處時減速電機停機。