[發(fā)明專利]一種半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置

在審

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• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN109628904A
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱蓓蓓;蘭潔;申振豐;許劍鋒;陳肖;郭凌曦;程輝;袁超;孫晴晗
• 申請（專利權(quán)）人: 上海航天控制技術(shù)研究所
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 上海航天局專利中心 31107
• 代理人: 圣冬冬

本專利公開了一種半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置，該裝置包含：公轉(zhuǎn)電機(jī)、自轉(zhuǎn)電機(jī)、擺動電機(jī)，公轉(zhuǎn)電機(jī)通過公轉(zhuǎn)軸系與公轉(zhuǎn)盤相連實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)運(yùn)動。自轉(zhuǎn)電機(jī)通過自轉(zhuǎn)軸系與卡具相連，通過彈力鋼絲繩實(shí)現(xiàn)全角度自轉(zhuǎn)。擺動電機(jī)通過擺動軸系將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成上下移動，通過撥叉帶動齒條驅(qū)動齒輪實(shí)現(xiàn)工件擺動。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)半球諧振陀螺鍍膜過程中空間運(yùn)動，全表面一次性成膜，集公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和擺動三種運(yùn)動于一體，且公轉(zhuǎn)速度、自轉(zhuǎn)速度與自轉(zhuǎn)方向獨(dú)立可調(diào)，向上擺動速度、向下擺動速度、擺動仰角和上、下停頓時(shí)間均可按需要隨意設(shè)定，提高鍍膜均勻性，解決了半球諧振陀螺鍍膜合格率低的問題，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置，特別涉及半球諧振陀螺鍍膜領(lǐng)域。

背景技術(shù)

采用傳統(tǒng)真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架，僅能實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)的功能,無擺動功能，且無法獨(dú)立控制公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速。對于半球諧振陀螺零件各個(gè)表面鍍膜無法一次成膜，不能實(shí)現(xiàn)一次裝夾完成真空鍍膜，需要對零件進(jìn)行多次鍍膜。因此，采用常用的傳統(tǒng)方式對半球諧振陀螺零件鍍膜均勻性差，合格率難以控制，效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于設(shè)計(jì)一種半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置，該裝置包含公轉(zhuǎn)系統(tǒng)、自轉(zhuǎn)系統(tǒng)、擺動系統(tǒng)和真空室；所述公轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括，公轉(zhuǎn)電機(jī)，所述公轉(zhuǎn)電機(jī)通過公轉(zhuǎn)軸系與公轉(zhuǎn)盤相連實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)運(yùn)動；所述自傳系統(tǒng)包括，自傳電機(jī)，所述自轉(zhuǎn)電機(jī)通過自轉(zhuǎn)軸系與卡具相連，通過彈力鋼絲繩實(shí)現(xiàn)全角度自轉(zhuǎn)運(yùn)動；所述擺動系統(tǒng)包括，擺動電機(jī)，所述擺動電機(jī)通過擺動軸系將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成上下移動實(shí)現(xiàn)工件擺動；所述真空室內(nèi)設(shè)置有工件固定裝置，所述真空室內(nèi)的工件固定裝置通過傳動桿與所述公轉(zhuǎn)系統(tǒng)、所述自傳系統(tǒng)和所述擺動系統(tǒng)連接。

優(yōu)選的，所述自傳系統(tǒng)的自轉(zhuǎn)速度可調(diào)并可獨(dú)立控制。

優(yōu)選的，所述擺動電機(jī)通過撥叉帶動齒條驅(qū)動齒輪，將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成工件擺動。

優(yōu)選的，所述傳動桿與所述真空室的連接處安裝動密封裝置，保證真空室氣密性。

本發(fā)明的有益效果是:

1.可實(shí)現(xiàn)工件空間多維運(yùn)動,包括：公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)、擺動、自轉(zhuǎn)+公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)+擺動、公轉(zhuǎn)+擺動、公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)+擺動等多種空間運(yùn)動。

2.本裝置在真空鍍膜生產(chǎn)中,實(shí)現(xiàn)了公轉(zhuǎn)速度、自轉(zhuǎn)速度與自轉(zhuǎn)方向獨(dú)立可調(diào)，向上擺動速度、向下擺動速度、擺動仰角和上、下停頓時(shí)間均可按需要隨意設(shè)定，精確控制膜層厚度，提高膜層均勻性。

3.本裝置實(shí)現(xiàn)了工件多種轉(zhuǎn)動方式的獨(dú)立運(yùn)動與聯(lián)動，對被鍍工件表面形狀復(fù)雜、精確控制膜層厚度等難題提出了很好的解決方向。實(shí)現(xiàn)一次性裝夾全表面鍍膜，保證了工件表面膜層覆蓋率與膜層厚度均勻性。

附圖說明

圖1是半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置示意圖；

圖2是半球諧振陀螺鍍膜空間運(yùn)動裝置俯視圖；

圖3是公轉(zhuǎn)系統(tǒng)示意圖；

圖4是自轉(zhuǎn)系統(tǒng)示意圖；

圖5是擺動系統(tǒng)示意圖。

1-自轉(zhuǎn)傳動輸入，2-公轉(zhuǎn)傳動輸入，3-擺動傳動輸入，4-自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，5-公轉(zhuǎn)系統(tǒng)，6-擺動系統(tǒng)，7-傳動機(jī)構(gòu)，8-夾具座，9-監(jiān)控裝置，10-轉(zhuǎn)動電極，11-轉(zhuǎn)動電極，12-齒輪，13-直線軸承，14-擺動從動齒輪，15-擺動主動齒輪，16-公轉(zhuǎn)盤，17-鋼絲夾具座，18-齒輪齒條，19-轉(zhuǎn)向夾板，20-固定螺母，21-工件

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。

實(shí)施例

下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。本發(fā)明包含以下內(nèi)容，但并不僅限于以下內(nèi)容。