[發(fā)明專利]真空吸附方法以及真空吸附裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811521775.8
• 申請(qǐng)日: 2018-12-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110014385A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高松生芳;谷垣內(nèi)平道
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B25B11/00
• 分類號(hào): B25B11/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉建

一種真空吸附方法以及真空吸附裝置，在臺(tái)(10)內(nèi)設(shè)置中空部(12a)，朝向上表面形成多個(gè)貫穿孔(14)。在中空部經(jīng)由電磁閥(23)對(duì)真空泵(24)和加壓泵(25)進(jìn)行連接。而且，將柔性片材(31)輸送到臺(tái)(10)，使真空泵(24)進(jìn)行動(dòng)作而變?yōu)樨?fù)壓。然后，暫時(shí)使用加壓泵(25)使中空部?jī)?nèi)的壓力上升，如果達(dá)到即將成為大氣壓之前的規(guī)定值，則再次抽吸而使柔性片材(31)吸附于臺(tái)(10)上。據(jù)此，在真空吸附裝置中當(dāng)吸附柔性片材時(shí)不會(huì)產(chǎn)生褶皺。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于劃線裝置或斷開(kāi)裝置等加工柔性片材的裝置的、將柔性片材吸附在臺(tái)上的真空吸附方法以及真空吸附裝置。

背景技術(shù)

在將脆性材料基板裁剪成規(guī)定的形狀時(shí)使用真空吸附裝置。例如在專利文獻(xiàn)1中示出了如下裝置：在對(duì)基板進(jìn)行劃線的劃線裝置以及斷開(kāi)裝置中，將基板吸附在臺(tái)上，并且在將基板固定在臺(tái)上之后，使劃線輪滾動(dòng)放進(jìn)行劃線或按壓斷開(kāi)桿進(jìn)行斷開(kāi)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：WO2004/073946公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

在使用上述真空吸附裝置來(lái)加工柔性片材的情況下，當(dāng)載置于臺(tái)上并從臺(tái)以真空的方式吸附柔性片材時(shí)，有時(shí)由于柔性片材較薄且柔軟而會(huì)變形。在例如圖1的(a)所示那樣將柔性片材102載置于臺(tái)101上的情況下，如果其中央部分與臺(tái)之間含有空氣，則一旦從設(shè)于臺(tái)的多個(gè)貫穿孔以負(fù)壓的方式抽吸，就會(huì)存在以下問(wèn)題：如圖1的(b)所示那樣有時(shí)在柔性片材102的局部產(chǎn)生線狀或圓形狀的褶皺103。

本發(fā)明是著眼于上述現(xiàn)有的真空吸附裝置的問(wèn)題而做出的，其目的在于，即使當(dāng)加工柔性片材時(shí)吸附柔性片材也能夠不產(chǎn)生褶皺等，并在臺(tái)上以真空吸附的方式保持。

解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案

為了解決該技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的真空吸附裝置具備：臺(tái)，其具有在內(nèi)部沿著面而成的中空部，并朝向上表面形成多個(gè)貫穿孔，用于載置柔性片材；真空泵，其抽吸空氣；加壓泵，其加壓輸送空氣；管道，其將所述臺(tái)內(nèi)的中空部與所述真空泵以及所述加壓泵進(jìn)行連結(jié)；電磁閥，其將所述真空泵以及所述加壓泵中的任一方與所述管道進(jìn)行連結(jié)；壓力傳感器，其檢測(cè)所述臺(tái)的中空部?jī)?nèi)的壓力；以及控制器，當(dāng)所述臺(tái)上載置有所述柔性片材時(shí)，控制器控制為基于所述壓力傳感器的壓力來(lái)開(kāi)閉所述電磁閥并將所述真空泵以及所述加壓泵中的任一方與所述中空部連結(jié)。

為了解決該技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的真空吸附方法是采用了所述真空吸附裝置的真空吸附方法，所述真空吸附方法包括以下步驟：當(dāng)所述臺(tái)上載置了柔性片材時(shí)將所述管道切換到真空泵一側(cè)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)真空泵來(lái)使所述臺(tái)的中空部的壓力降低；當(dāng)所述中空部?jī)?nèi)的壓力達(dá)到了第一負(fù)壓時(shí)將所述管道切換到所述加壓泵一側(cè)來(lái)使所述中空部?jī)?nèi)的壓力上升；當(dāng)所述中空部?jī)?nèi)的壓力達(dá)到了第二負(fù)壓時(shí)將所述管道切換到所述真空泵一側(cè)來(lái)使所述中空部?jī)?nèi)的壓力降低；以及當(dāng)所述中空部?jī)?nèi)的壓力達(dá)到了第三負(fù)壓時(shí)以維持該第三負(fù)壓的方式進(jìn)行控制。

發(fā)明效果

根據(jù)具有上述技術(shù)特征的本發(fā)明，能夠得到如下效果：輸送來(lái)柔性片材之后，暫時(shí)進(jìn)行抽吸，再恢復(fù)至接近大氣壓的值之后，再次進(jìn)行抽吸，因此能夠在臺(tái)上平坦地維持柔性片材，保持沒(méi)有褶皺。

附圖說(shuō)明

圖1的(a)和(b)是示出在現(xiàn)有的真空吸附裝置中空氣進(jìn)入柔性片材與臺(tái)之間的狀態(tài)以及褶皺產(chǎn)生的狀態(tài)的圖。

圖2是示出本實(shí)施方式的真空吸附裝置的概略圖。

圖3是示出柔性片材被輸送到本實(shí)施方式的真空吸附裝置的狀態(tài)的圖。

圖4的(a)和(b)是示出在本實(shí)施方式的真空吸附裝置中當(dāng)輸送來(lái)柔性片材之后，中空部?jī)?nèi)的壓力的變化的曲線圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：