[發明專利]真空吸附方法以及真空吸附裝置在審
| 申請號： | 201811521775.8 | 申請日： | 2018-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN110014385A | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發明（設計）人： | 高松生芳;谷垣內平道 | 申請（專利權）人： | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 劉建 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空吸附裝置 柔性片材 中空部 真空吸附 加壓泵 真空泵 吸附 褶皺 向上表面 壓力上升 電磁閥 貫穿孔 抽吸 負壓 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空吸附裝置，具備：
臺，其在內部具有沿著面而成的中空部，并朝向上表面形成多個貫穿孔，該臺用于載置柔性片材；
真空泵，其抽吸空氣；
加壓泵，其加壓輸送空氣；
管道，其將所述臺內的中空部與所述真空泵以及所述加壓泵進行連結；
電磁閥，其將所述真空泵以及所述加壓泵中的任一方與所述管道進行連結；
壓力傳感器，其檢測所述臺的中空部內的壓力；以及
控制器，當所述臺上載置有所述柔性片材時，該控制器控制為基于所述壓力傳感器的壓力來開閉所述電磁閥并將所述真空泵以及所述加壓泵中的任一方與所述中空部連結。
2.一種真空吸附方法，其采用了權利要求1所述的真空吸附裝置，
所述真空吸附方法包括以下步驟：
當所述臺上載置了柔性片材時將所述管道切換到真空泵一側，通過驅動所述真空泵來使所述臺的中空部的壓力降低；
當所述中空部內的壓力達到了第一負壓時將所述管道切換到所述加壓泵一側來使所述中空部內的壓力上升；
當所述中空部內的壓力達到了第二負壓時將所述管道切換到所述真空泵一側來使所述中空部內的壓力降低；以及
當所述中空部內的壓力達到了第三負壓時以維持該第三負壓的方式進行控制。
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