[發明專利]圖像檢查裝置

有效

• 申請號: 201811520137.4
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN110248056B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 加藤豊
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: H04N5/225
• 分類號: H04N5/225;H04N5/235;H04N5/247
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種圖像檢查裝置，使用拍攝圖像來檢查對象物，所述圖像檢查裝置包括：

多個拍攝部，拍攝所述對象物；

照明部，配置在所述對象物與所述多個拍攝部之間，構成為向朝著所述對象物的方向照射光，并且具有透光性；以及

控制部，控制所述多個拍攝部及所述照明部，

所述照明部包含多個照明單元，所述多個照明單元配置成矩陣狀，且可獨立地點亮，

所述控制部控制所述多個照明單元的點亮及熄滅，以控制所述光的照射位置，由此，使所述照明部對與所述多個拍攝部的視野對應的所述對象物的區域進行照明，以使所述多個拍攝部拍攝所述對象物，

所述控制部通過對所述多個照明單元的點亮及熄滅進行分時控制，從而從所述照明部對所述對象物照射第1照射圖形的光，接下來，從所述照明部對所述對象物照射第2照射圖形的光，

所述控制部在將所述第1照射圖形的光照射至所述對象物時，使所述多個拍攝部中的第1拍攝部拍攝所述對象物而獲取第1圖像數據，在將所述第2照射圖形的光照射至所述對象物時，使所述多個拍攝部中的第2拍攝部拍攝所述對象物而獲取第2圖像數據。

2.根據權利要求1所述的圖像檢查裝置，

所述控制部使用至少包含所述第1圖像數據及所述第2圖像數據的多個圖像數據，來執行關于所述對象物的圖像測量處理，

所述第1圖像數據關聯于所述第1拍攝部的拍攝視野內的第1目標位置，

所述第2圖像數據關聯于所述第2拍攝部的拍攝視野內的第2目標位置，

所述第1照射圖形是根據所述第1目標位置而決定，

所述第2照射圖形是根據所述第2目標位置而決定。

3.根據權利要求2所述的圖像檢查裝置，

所述第1照射圖形及所述第2照射圖形被決定為，從所述照明部向所述第1目標位置照射的光的入射方向與從所述照明部向所述第2目標位置照射的光的入射方向實質上相同。

4.根據權利要求2或3所述的圖像檢查裝置，

所述控制部依序變更從所述照明部對所述對象物照射的光的照射圖形，并且，對應于所述照射圖形的依序變更，而使所述多個拍攝部依序拍攝所述對象物。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的圖像檢查裝置，

所述多個拍攝部的各個包含讀出電路，所述讀出電路從將拍攝視野內所含的光轉換為圖像信號的多個受光元件中的一部分受光元件讀出所述圖像信號。

6.根據權利要求5所述的圖像檢查裝置，

從所述多個受光元件中的一部分即第1受光元件讀出圖像信號的處理的至少一部分、與在從所述照明部照射有光的狀態下使所述多個受光元件中的一部分即第2受光元件曝光的處理的至少一部分是同時執行。

7.根據權利要求1所述的圖像檢查裝置，

所述照明部包括：

多個發光部，排列成矩陣狀，且構成為可選擇性地發光；以及

光學系統，構成為，將從所述多個發光部各自發出的所述光的照射方向控制為與各所述多個發光部的位置對應的方向。

8.根據權利要求7所述的圖像檢查裝置，

所述光學系統包含多個微透鏡，所述多個微透鏡是與所述多個發光部分別相向地設置。

9.根據權利要求8所述的圖像檢查裝置，

所述多個微透鏡被配置成，所述多個微透鏡中的至少一部分微透鏡的光軸與跟所述至少一部分微透鏡相向的發光部的光軸偏離。

10.根據權利要求9所述的圖像檢查裝置，

在所述多個照明單元中的至少一個照明單元中，所述至少一部分微透鏡以比所述發光部的間距小的間距而配置。

11.根據權利要求8所述的圖像檢查裝置，

所述多個微透鏡被配置成，所述多個微透鏡中的至少一部分微透鏡的光軸相對于跟所述至少一部分微透鏡相向的發光部的光軸而傾斜。