[發(fā)明專利]用于硅片制作的點(diǎn)膠方法、粘接板、晶托

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811512111.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111300673A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱延松;陸建虎;張開(kāi)增;周化吉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楚雄隆基硅材料有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00;B28D7/04;B28D5/04
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;陽(yáng)志全

1.一種用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，包括步驟：

S01、提供待點(diǎn)膠的襯底，所述襯底包括相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)邊線(M)和第二側(cè)邊線(N)；

S02、在襯底上依次涂布多條點(diǎn)膠段(L)形成點(diǎn)膠圖案(L0)，直至點(diǎn)膠圖案(L0)的起點(diǎn)與終點(diǎn)在所述第一側(cè)邊線(M)的長(zhǎng)度方向上間隔預(yù)定距離；

所述點(diǎn)膠圖案(L0)中，每條點(diǎn)膠段(L)的起點(diǎn)靠近第一側(cè)邊線(M)或第二側(cè)邊線(N)、終點(diǎn)靠近第二側(cè)邊線(N)或第一側(cè)邊線(M)，且前一個(gè)點(diǎn)膠段(L)的終點(diǎn)為后一個(gè)點(diǎn)膠段(L)的起點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，還包括步驟：

S03、在所述點(diǎn)膠圖案(L0)的起點(diǎn)或終點(diǎn)附近選定一新的點(diǎn)作為點(diǎn)膠起點(diǎn)(A0)，形成另一個(gè)點(diǎn)膠圖案(L0)，直至點(diǎn)膠圖案(L0)的終點(diǎn)臨近所述襯底的端部邊線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠圖案(L0)中，在所述第一側(cè)邊線(M)的長(zhǎng)度方向上位于所述點(diǎn)膠圖案(L0)兩端的所述點(diǎn)膠段(L)的排布密度大于位于所述點(diǎn)膠圖案(L0)中部的所述點(diǎn)膠段(L)的排布密度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠圖案(L0)中，在所述第一側(cè)邊線(M)的長(zhǎng)度方向上越靠近所述點(diǎn)膠圖案(L0)的兩端，所述點(diǎn)膠段(L)的排布密度越大。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠段(L)呈直線。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠圖案(L0)的第一個(gè)點(diǎn)膠段(L)平行于襯底的端部邊線。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，至少一條所述點(diǎn)膠段(L)呈弧線。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠圖案(L0)中，在所述第一側(cè)邊線(M)的長(zhǎng)度方向上相鄰的兩個(gè)起點(diǎn)或終點(diǎn)的距離不小于10mm、且不大于80mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法，其特征在于，所述點(diǎn)膠圖案(L0)中，相鄰的兩個(gè)起點(diǎn)或終點(diǎn)在所述第一側(cè)邊線(M)的長(zhǎng)度方向上的距離為60±20mm、30±10mm、15±5mm中的一種。

10.一種粘接板，其特征在于，所述粘接板的一個(gè)表面具有采用權(quán)利要求1-9任一所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法制作形成的膠線層，所述膠線層包括至少一個(gè)點(diǎn)膠圖案(L0)。

11.一種晶托，其特征在于，所述晶托的一個(gè)表面具有采用權(quán)利要求1-9任一所述的用于硅片制作的點(diǎn)膠方法制作形成的膠線層，所述膠線層包括至少一個(gè)點(diǎn)膠圖案(L0)。