[發明專利]消除擾流的液氣分離式涂布機結構在審
| 申請號: | 201811511123.6 | 申請日: | 2018-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN111299070A | 公開(公告)日: | 2020-06-19 |
| 發明(設計)人: | 陳茂全;蘇啟郎;廖崇文 | 申請(專利權)人: | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B05C5/02 | 分類號: | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人: | 壽寧;張琳 |
| 地址: | 中國臺灣新竹縣*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 消除 分離 式涂布機 結構 | ||
1.一種消除擾流的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其包括:
杯體,其為杯底部及由該杯底部端部向上延伸的環繞杯壁所形成,其中該杯底部包括:
第一凹部,其是由該環繞杯壁、位于該環繞杯壁內側的第一環繞內壁、及連接于該環繞杯壁底部及該第一環繞內壁底部的第一底部所形成,又該第一底部與液體回收管相連通;及
第二凹部,其是由該第一環繞內壁、位于該第一環繞內壁內側的第二環繞內壁、及連接于該第一環繞內壁底部及該第二環繞內壁底部的第二底部所形成,又該第二底部與至少一個排氣管相連通;
涂布模塊,其包括:
旋轉驅動單元,其具有旋轉軸心,又該旋轉軸心貫穿該第二環繞內壁所形成的中央穿孔;
至少一個升降驅動單元,其驅動該旋轉驅動單元進行升降動作;及
載盤,結合于該旋轉軸心的頂部,又該載盤用以承載待涂布件;
第一杯罩,其具有第一開口,該第一杯罩的端部與該環繞杯壁結合為一體;以及
第二杯罩,其具有第二開口,該第二杯罩位于該第二開口側的端部結合于該第二環繞內壁上,又該第二杯罩跨越該第一環繞內壁后形成于該環繞杯壁與該第一環繞內壁間;
其中該第一底部的位置低于該第二底部的水平高度。
2.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其設置于涂布機腔室中,該涂布機腔室進氣端,在第一控制器的調節控制下,提供下降氣流;又于該至少一個排氣管端,在第二控制器的調節控制下,排出腔室內的氣體。
3.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第一底部為斜面,又該液體回收管設置于該斜面的最低處。
4.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該至少一個排氣管為多個排氣管且彼此等間距排列。
5.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第一杯罩具有第一斜面及第一垂直面,由該第一斜面向外延伸形成。
6.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第二杯罩具有第二斜面及第二垂直面,由該第二斜面向外延伸形成。
7.如權利要求6所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第二垂直面的底部低于該第一環繞內壁的頂部,又該第二垂直面的底部與該第一底部間形成有排氣間隙。
8.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第二杯罩于該第二開口壁設有向上延伸的環繞凸緣,且該載盤的頂面高于該環繞凸緣。
9.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該第一開口的直徑大于該第二開口的直徑。
10.如權利要求1所述的液氣分離式涂布機結構,其特征在于,其中該杯底部下方設有多個結合插銷。
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