[發(fā)明專利]電容式麥克風有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811472303.8 | 申請日： | 2018-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN109511067B | 公開（公告）日： | 2020-12-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 榮根蘭;孫愷;胡維;李剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤;董琳 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 麥克風 | ||
1.一種電容式麥克風，其特征在于，包括：
振膜層；
背板，被絕緣支撐于所述振膜層表面，所述背板與所述振膜層構(gòu)成可變電容；其特征在于，
所述背板包括堆疊設置的第一絕緣層、導電層和第二絕緣層，所述導電層位于所述第一絕緣層和第二絕緣層之間，所述振膜層與所述背板的第一絕緣層相對，且所述第二絕緣層的厚度小于第一絕緣層的厚度；
所述背板開設有聲孔；
所述振膜層上開設有貫穿所述振膜層的泄氣孔，且所述泄氣孔與所述背板最外圍的聲孔位置相對。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式麥克風，其特征在于，所述第二絕緣層至少覆蓋所述導電層的表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容式麥克風，其特征在于，所述第二絕緣層還覆蓋所述導電層和第一絕緣層的側(cè)壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式麥克風，其特征在于，所述背板朝向振膜層的一側(cè)表面設置有凸點。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電容式麥克風，其特征在于，所述凸點設置于相鄰聲孔之間的背板表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式麥克風，其特征在于，所述泄氣孔的形狀包括圓形、方形或細槽中的至少一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式麥克風，其特征在于，還包括襯底，所述振膜層另一側(cè)表面絕緣支撐于所述襯底表面，所述襯底內(nèi)形成有與所述振膜層相對的背腔。
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