[發明專利]一種高效的石英環制備方法

在審

• 申請號: 201811471972.3
• 申請日: 2018-12-04
• 公開（公告）號: CN109514745A
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 陳士斌;劉波濤;莊術金;周明強;劉明偉
• 申請（專利權）人: 連云港太平洋潤輝光電科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B24B1/00;B24C1/04
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 陸海天;徐冬濤

1.一種高效的石英環制備方法，其特征是包括以下步驟：

1）車床切割下料：在車床上安裝多刀切割裝置，將圓柱狀石英筒通過一次切割切成多個毛坯環；該毛坯環的厚度比所需制備的石英環的厚度大2-5mm；

2）銑磨雙面：使用銑磨機批量化的對毛坯環的兩面進行銑磨；

3）滾內外圓：在磨床上安裝長卡夾，使其能夠同時固定多個毛坯環，并通過長磨頭對該多個毛坯環同時進行磨圓加工；

4）倒角：對所述的毛坯環的上下兩面與側面的交界處進行倒角，使該倒角大小為R0.2-0.5mm；

5）打砂：使用砂盤對所述毛坯環的上下兩表面進行打砂，使毛坯環的厚度達到所需石英環的厚度；

6）清洗：對所述毛坯環進行清洗，得到成品石英環。

2.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述石英筒外徑比所需制備的石英環外徑大2-6mm，其內徑比所需制備的石英環內徑小2-6mm。

3.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述多刀切割裝置包括長卡夾和多組金剛砂輪片，所述長卡夾安裝在車床卡盤上，以便夾住所述石英筒；所述多組金剛砂輪片安裝在車床另一端的刀具軸上，使一次進刀能夠同時切割出多個毛坯環；所述金剛砂輪片直徑為180-250mm，目數為100-150目，其轉速為不小于2800r/min，進給速度不大于0.04-0.06mm/min。

4.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述步驟2）中采用的銑磨液為銑磨原液與水按重量比1:20～1:10組成的混合物，主軸進給速度8～12mm/min，磨頭研磨到加工尺寸后需要光刀的時間為1min。

5.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述步驟3）中，所用磨頭為120-180目的金剛砂，磨頭的進給速度不大于0.03mm/min，將所述毛坯環內外徑磨削至所需制備的石英環尺寸。

6.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述步驟4）中所用倒角機砂輪為150-400目的電鍍金剛石砂輪。

7.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述步驟5）中的研磨料目數為300-600目，其材質為碳化硅、碳化硼、天然金剛砂或金剛石中的任一種。

8.根據權利要求1所述的高效的石英環制備方法，其特征是所述步驟6）中使用濃度為3-8%氫氟酸作為清洗液。