[發(fā)明專利]排氣裝置、處理裝置以及排氣方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811464877.0
• 申請日: 2018-12-03
• 公開（公告）號: CN110010437B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 永關(guān)一也;茂山和基;松田俊也;古谷直一;大下辰郎
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;C23C16/44
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種排氣裝置，其具有：

排氣機(jī)構(gòu)，其配置于處理容器內(nèi)，所述排氣機(jī)構(gòu)具有第1葉片構(gòu)件和第2葉片構(gòu)件，該第1葉片構(gòu)件和該第2葉片構(gòu)件在所述處理容器內(nèi)的排氣空間中同軸地配置于載置被處理體的載置臺的外周側(cè)，且至少一者能夠旋轉(zhuǎn)，該處理容器在真空氣氛的處理空間中對被處理體實施處理；以及

具有泵的功能的排氣部，其與所述排氣空間連通，在所述排氣機(jī)構(gòu)的下游側(cè)進(jìn)行所述處理容器內(nèi)的排氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣裝置，其中，

在所述排氣機(jī)構(gòu)的上游側(cè)設(shè)置有擋板，該擋板將所述處理容器內(nèi)分隔成所述處理空間和所述排氣空間，且形成有多個貫通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排氣裝置，其中，

多個所述擋板以預(yù)定的間隔平行地設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排氣裝置，其中，

多個所述擋板中的至少一者設(shè)置成能夠上下運(yùn)動或能夠旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的排氣裝置，其中，

所述第1葉片構(gòu)件在具有包圍被處理體的外緣的空間的第1基材朝外地設(shè)置有多個第1葉片，所述第2葉片構(gòu)件在具有包圍所述第1葉片構(gòu)件的外緣的空間的第2基材朝內(nèi)地設(shè)置有多個第2葉片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的排氣裝置，其中，

所述第1葉片和所述第2葉片交替地設(shè)置成多層。

7.一種處理裝置，其具備排氣裝置，該排氣裝置具有：

排氣機(jī)構(gòu)，其配置于處理容器內(nèi)，所述排氣機(jī)構(gòu)具有第1葉片構(gòu)件和第2葉片構(gòu)件，該第1葉片構(gòu)件和該第2葉片構(gòu)件在所述處理容器內(nèi)的排氣空間中同軸地配置于載置被處理體的載置臺的外周側(cè)，且至少一者能夠旋轉(zhuǎn)，該處理容器在真空氣氛的處理空間中對被處理體實施處理；以及

具有泵的功能的排氣部，其與所述排氣空間連通，在所述排氣機(jī)構(gòu)的下游側(cè)進(jìn)行所述處理容器內(nèi)的排氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理裝置，其中，

所述第1葉片構(gòu)件在具有包圍被處理體的外緣的內(nèi)部空間的第1基材朝外地設(shè)置有多個第1葉片，所述第2葉片構(gòu)件在具有包圍所述第1葉片構(gòu)件的內(nèi)部空間的第2基材朝內(nèi)地設(shè)置有多個第2葉片，

供被處理體載置的載置臺的下方利用所述載置臺和貫穿所述第1基材的內(nèi)部空間和所述第2基材的內(nèi)部空間貫通的所述處理容器成為大氣空間。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的處理裝置，其中，

所述處理容器具有將對被處理體進(jìn)行處理的處理空間隔離成多個處理室的隔離壁，

所述排氣機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述多個處理室。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的處理裝置，其中，

在所述處理容器的壁，與所述多個處理室相對應(yīng)地形成有多個被處理體的輸入輸出口，

與所述多個處理室的輸入輸出口相對應(yīng)地具有沿著所述處理容器的壁面設(shè)置的多個屏蔽構(gòu)件，

所述多個屏蔽構(gòu)件上下移動或旋轉(zhuǎn)，對所述輸入輸出口進(jìn)行開閉。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的處理裝置，其中，

該處理裝置具有多個擋板，該多個擋板與所述多個處理室相對應(yīng)將各處理室和所述排氣空間分隔，且形成有多個貫通孔，

所述多個屏蔽構(gòu)件和所述擋板上下移動或旋轉(zhuǎn)，對所述輸入輸出口進(jìn)行開閉。