[發(fā)明專利]圖像傳感器芯片封裝結(jié)構(gòu)以及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811455959.9 | 申請(qǐng)日: | 2018-11-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109686749B | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 肖漢武;陳陶;李云海 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所 |
| 主分類號(hào): | H01L27/146 | 分類號(hào): | H01L27/146 |
| 代理公司: | 無(wú)錫派爾特知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 楊立秋 |
| 地址: | 214000 *** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 圖像傳感器 芯片 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 制備 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種圖像傳感器芯片封裝結(jié)構(gòu)以及其制備方法,屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域。所述結(jié)構(gòu)包括多層基板載體、圖像傳感器芯片以及光窗玻璃蓋板,其中:所述圖像傳感器芯片固定于所述多層基板載體,所述光窗玻璃蓋板固定于所述多層基板載體,所述圖像傳感器芯片的感光單元與所述光窗玻璃蓋板相對(duì);所述圖像傳感器芯片與所述光窗玻璃蓋板之間無(wú)遮擋,且間隙小于或等于所述多層基板載體的一層基板的厚度一半,減小了圖像傳感器芯片與光窗玻璃蓋板之間間隙;解決了相關(guān)技術(shù)中鍵合引線帶來(lái)圖像傳感器芯片與光窗玻璃蓋板之間的間隙偏大的問(wèn)題,達(dá)到了降低光線串?dāng)_的效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種圖像傳感器芯片封裝結(jié)構(gòu)以及其制備方法。
背景技術(shù)
屬于光敏器件(或稱為感光器件),其封裝中通常都是由一個(gè)光窗玻璃蓋板及封裝載體組成,光窗玻璃蓋板與封裝載體能夠形成一個(gè)空腔結(jié)構(gòu),圖像傳感器芯片被封裝于該空腔結(jié)構(gòu)中。其中,光窗玻璃蓋板的作用除了保護(hù)圖像傳感器芯片免受外部環(huán)境污染外,另一個(gè)重要作用是便于光線進(jìn)入芯片表面感光單元。
目前,圖像傳感器芯片都是采用標(biāo)準(zhǔn)的引線鍵合技術(shù)實(shí)現(xiàn)芯片與封裝載體的電學(xué)連接。由于鍵合引線主要采用球焊、楔形焊工藝技術(shù),鍵合引線存在一定的弧線高度。而封裝結(jié)構(gòu)中的光窗玻璃蓋板安裝在鍵合引線上方,為避免因鍵合引線與光窗玻璃蓋板接觸導(dǎo)致的弧線形變,通常要求光窗玻璃蓋板與弧線頂部之間的間隙保持在至少2倍引線絲徑以上,因此圖像傳感器芯片與光窗玻璃蓋板之間的間隙比較大,通常在0.3mm以上。
然而,圖像傳感器芯片與光窗玻璃蓋板之間的間隙越大,二者之間的反光影響也越大,會(huì)帶來(lái)光線串?dāng)_問(wèn)題,對(duì)圖像傳感器芯片的光學(xué)性能不利。若圖像傳感器芯片采用雙層鍵合引線,則光窗玻璃蓋板與圖像傳感器芯片之間的間隙更大,采用陶瓷封裝結(jié)構(gòu)的話,其間距甚至達(dá)到0.5mm及以上,光線串?dāng)_現(xiàn)象更大。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決相關(guān)技術(shù)中鍵合引線帶來(lái)圖像傳感器芯片與光窗玻璃蓋板之間間隙的問(wèn)題,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種圖像傳感器芯片封裝結(jié)構(gòu)以及其制備方法。所述技術(shù)方案如下:
第一方面,提供了一種圖像傳感器芯片封裝結(jié)構(gòu),所述結(jié)構(gòu)包括多層基板載體、圖像傳感器芯片以及光窗玻璃蓋板,其中:
所述圖像傳感器芯片固定于所述多層基板載體,所述光窗玻璃蓋板固定于所述多層基板載體,所述圖像傳感器芯片的感光單元與所述光窗玻璃蓋板相對(duì);
所述圖像傳感器芯片與所述光窗玻璃蓋板之間無(wú)遮擋,且間隙小于或等于所述多層基板載體的一層基板的厚度一半。
可選的,所述多層基板載體的正面設(shè)置有正面凹槽且反面設(shè)置有反面凹槽,所述反面凹槽的底部的部分與所述正面凹槽的底部連通形成中空,其中:
所述反面凹槽用于收容所述圖像傳感器芯片,所述正面凹槽用于收容所述光窗玻璃蓋板。
可選的,所述反面凹槽的底部設(shè)置有多個(gè)鍵合指,所述鍵合指上設(shè)置有金屬凸點(diǎn)或金屬柱,所述鍵合指用于與所述圖像傳感器芯片上的焊盤形成電學(xué)連接。
可選的,所述圖像傳感器芯片上的焊盤通過(guò)各向異性導(dǎo)電膠或非導(dǎo)電膠與鍵合指上的所述金屬凸點(diǎn)或所述金屬柱形成電學(xué)連接。
可選的,所述光窗玻璃蓋板的邊緣呈階梯狀為臺(tái)階結(jié)構(gòu),所述光窗玻璃蓋板的邊緣部分通過(guò)密封粘接膠粘接于所述多層基板載體的基板。
可選的,所述密封粘接膠為單獨(dú)的密封膠環(huán),或者,所述密封粘接膠為涂覆于所述邊緣部分的粘接膠。
可選的,所述圖像傳感器芯片、所述反面凹槽的側(cè)壁之間有填充膠。
可選的,所述光窗玻璃蓋板、所述正面凹槽的側(cè)壁之間有填充膠。
可選的,所述多層基板載體的反面貼裝有多個(gè)焊球。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無(wú)源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無(wú)源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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