[發(fā)明專利]微元件的轉(zhuǎn)移裝置及其轉(zhuǎn)移方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811455037.8
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN111261568B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫建明
• 申請（專利權(quán)）人: 成都辰顯光電有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 廣東君龍律師事務(wù)所 44470
• 代理人: 丁建春

本申請公開了一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及其轉(zhuǎn)移方法，該微元件的轉(zhuǎn)移裝置包括至少一個吸附轉(zhuǎn)移組，吸附轉(zhuǎn)移組包括：吸嘴，吸嘴具有真空通道，且包括連通真空通道的第一腔室；吸引力產(chǎn)生體，吸引力產(chǎn)生體位于真空通道內(nèi)；活動件，活動件位于第一腔室中；其中，吸引力產(chǎn)生體產(chǎn)生吸力，以使活動件靠近吸引力產(chǎn)生體而堵塞真空通道，撤銷/改變吸引力產(chǎn)生體的吸力，以使活動件遠離吸引力產(chǎn)生體而使真空通道暢通。通過上述方式能夠?qū)崿F(xiàn)微元件的巨量轉(zhuǎn)移且能夠?qū)γ總€吸嘴進行精確控制，有利于精確定位壞點，對壞點進行修復。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及微元件處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法。

背景技術(shù)

微元件技術(shù)是指在襯底上以高密度集成的微小尺寸的元件陣列。目前，微間距發(fā)光二極管(Micro LED)技術(shù)逐漸成為研究熱門，工業(yè)界期待有高品質(zhì)的微元件產(chǎn)品進入市場。

在制造微元件的過程中，首先在施體基板上形成微元件，接著將微元件轉(zhuǎn)移到接收基板上。接收基板例如是驅(qū)動基板。在制造微元件過程中的一個困難在于：如何將微元件從施體基板上轉(zhuǎn)移到接收基板上。

傳統(tǒng)轉(zhuǎn)移微元件的方法為借由基板接合(Wafer Bonding)將微元件自轉(zhuǎn)移基板轉(zhuǎn)移至接收基板。轉(zhuǎn)移方法的其中一種實施方法為直接轉(zhuǎn)移，也就是直接將微元件陣列自轉(zhuǎn)移基板接合至接收基板，之后再將轉(zhuǎn)移基板移除。另一種實施方法為間接轉(zhuǎn)移。此方法包含兩次接合/剝離的步驟，首先，轉(zhuǎn)移基板自施體基板提取微元件陣列，接著轉(zhuǎn)移基板再將微元件陣列接合至接收基板，最后再把轉(zhuǎn)移基板移除。其中，提取微元件陣列一般通過靜電拾取的方式來執(zhí)行，但靜電拾取并不可靠。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┝艘环N微元件的轉(zhuǎn)移裝置及微元件的轉(zhuǎn)移方法，能夠可靠地實現(xiàn)微元件的批量轉(zhuǎn)移。

為解決上述技術(shù)問題之一，本申請采用的一個技術(shù)方案是：提供一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置，該轉(zhuǎn)移裝置包括至少一個吸附轉(zhuǎn)移組，吸附轉(zhuǎn)移組包括：吸嘴，吸嘴具有真空通道，且包括連通真空通道的第一腔室；吸引力產(chǎn)生體，吸引力產(chǎn)生體位于真空通道內(nèi)；活動件，活動件位于第一腔室中；其中，吸引力產(chǎn)生體產(chǎn)生吸力，以使活動件靠近吸引力產(chǎn)生體而堵塞真空通道，撤銷/改變吸引力產(chǎn)生體的吸力，以使活動件遠離吸引力產(chǎn)生體而使真空通道暢通。

為解決上述技術(shù)問題，本申請采用的另一個技術(shù)方案是：提供一種微元件的轉(zhuǎn)移方法，該轉(zhuǎn)移方法包括將吸嘴移至微元件處；通過真空通道對吸嘴進行抽真空以使微元件吸附于吸嘴上；通過吸引力產(chǎn)生體產(chǎn)生吸力，使活動件靠近吸引力產(chǎn)生體而堵塞真空通道；轉(zhuǎn)移微元件至目標位置；通過撤銷/改變吸引力產(chǎn)生體所產(chǎn)生的吸力，以使活動件遠離吸引力產(chǎn)生體而使真空通道暢通，進而釋放微元件。

本申請的有益效果是：本申請?zhí)峁┑奈⒃霓D(zhuǎn)移裝置采用真空吸附的方式，且采用吸引力產(chǎn)生體與活動件相互吸引或分離來關(guān)閉或打開吸嘴中的真空通道，對吸嘴完成真空到大氣的轉(zhuǎn)換過程，實現(xiàn)對微元件的吸附與分離，進而可靠地實現(xiàn)微元件的批量轉(zhuǎn)移。

另外，本申請能夠?qū)崿F(xiàn)對每個吸嘴精確控制，有利于精確的定位壞點，以方便對壞點進行修復。

附圖說明

圖1是本申請微元件的轉(zhuǎn)移裝置第一實施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本申請微元件的轉(zhuǎn)移裝置第二開口位于公共腔壁的中間位置時的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本申請微元件轉(zhuǎn)移裝置第一腔室與第二通道呈上下設(shè)置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本申請微元件的轉(zhuǎn)移裝置第二實施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本申請微元件的轉(zhuǎn)移方法一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本申請?zhí)峁┮环N微元件的轉(zhuǎn)移裝置及其轉(zhuǎn)移方法，為使本申請的目的、技術(shù)方案和技術(shù)效果更加明確、清楚，以下對本申請進一步詳細說明，應(yīng)當理解此處所描述的具體實施條例僅用于解釋本申請，并不用于限定本申請。