[發(fā)明專(zhuān)利]蒸鍍裝置和蒸鍍方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811453479.9
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109989000A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山下和吉;末永真吾;濱永教彰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)州產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來(lái);李雪春

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，

所述蒸鍍裝置包括：

蒸鍍?cè)?，具有配置成直線狀并噴射蒸鍍材料的多個(gè)噴射噴嘴；以及

基板固定部，將基板固定成與所述多個(gè)噴射噴嘴平行，

所述多個(gè)噴射噴嘴包括：

中央噴射噴嘴，具有與所述基板平行的開(kāi)口面；以及

一對(duì)外側(cè)噴射噴嘴，配置成相對(duì)于所述中央噴射噴嘴左右對(duì)稱(chēng)，具有朝向外側(cè)傾斜的開(kāi)口面，

所述蒸鍍裝置滿足以下的公式(1)和公式(2)：

L₁/2L₂≤tanθ≤L₁/L₂···(1)

60°≤θ≤70°···(2)

在所述公式(1)和所述公式(2)中，L₁是所述基板固定于所述基板固定部時(shí)的所述多個(gè)噴射噴嘴與所述基板的距離，L₁的單位是mm；L₂是所述中央噴射噴嘴與所述外側(cè)噴射噴嘴的距離，L₂的單位是mm；θ是所述基板固定于所述基板固定部時(shí)的所述基板的表面與所述外側(cè)噴射噴嘴的開(kāi)口面所成的角的角度，θ的單位是°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還滿足公式(1’)：

L₁/(L₂+87)≤tanθ≤L₁/L₂···(1’)

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述多個(gè)噴射噴嘴由所述中央噴射噴嘴和所述一對(duì)外側(cè)噴射噴嘴的三個(gè)噴射噴嘴構(gòu)成。

4.一種蒸鍍方法，其特征在于，包括使用權(quán)利要求1、權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置進(jìn)行蒸鍍的工序。