[發(fā)明專利]太陽(yáng)能電池在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811448207.X | 申請(qǐng)日: | 2018-11-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111106187A | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-05-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 葉峻銘;黃崇杰;羅俊杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0224 | 分類號(hào): | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 喻穎 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)灣新竹*** | 國(guó)省代碼: | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 太陽(yáng)能電池 | ||
一種太陽(yáng)能電池包括n型硅基板、p型摻雜區(qū)、抗反射層、n+型背電場(chǎng)、鋁電極、鋁摻雜區(qū)以及背電極。n型硅基板具有第一表面與相對(duì)第一表面的第二表面。p型摻雜區(qū)形成于n型硅基板的第一表面。抗反射層形成于p型摻雜區(qū)上。鋁電極形成于p型摻雜區(qū)上,而鋁摻雜區(qū)形成于鋁電極下的p型摻雜區(qū)內(nèi),其中鋁摻雜區(qū)與鋁電極直接接觸。n+型背電場(chǎng)形成于n型硅基板的第二表面,背電極則形成于n型硅基板的第二表面上。本發(fā)明利用鋁金屬同時(shí)作為正面電極與選擇性射極(鋁摻雜區(qū))的摻雜來(lái)源,所以可經(jīng)由簡(jiǎn)單的制作工藝,達(dá)到減少電極與基板的接觸損失以及降低成本的功效。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種太陽(yáng)能電池。
背景技術(shù)
由于石化能源短缺,人們對(duì)環(huán)保重要性的認(rèn)知提高,因此人們近年來(lái)不斷地積極研發(fā)替代能源與再生能源的相關(guān)技術(shù),希望可以減少目前人類對(duì)于石化能源的依賴程度以及使用石化能源時(shí)對(duì)環(huán)境帶來(lái)的影響。在眾多的替代能源與再生能源的技術(shù)中,以太陽(yáng)能電池(solar cell)最受矚目。主要是因?yàn)樘?yáng)能電池可直接將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換成電能,且發(fā)電過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生二氧化碳或氮化物等有害物質(zhì),因此不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
然而,太陽(yáng)能電池的電極(金屬)與硅基板之間容易發(fā)生載子復(fù)合,且金屬與基板之間的接觸阻抗也是待改善的問(wèn)題。因此,為了降低金屬跟基板的載子復(fù)合與降低金屬與基板的接觸阻抗,目前的高效率太陽(yáng)能電池會(huì)在金屬下方制作選擇性射極結(jié)構(gòu)(selectiveemitter),即金屬下方區(qū)的射極摻雜較濃。
傳統(tǒng)以銀金屬下方做選擇性電極結(jié)構(gòu)步驟需先上犧牲層(sacrificial layer),接著圖案化(patterning)犧牲層,再上遮蔽(mask)膠使?fàn)奚鼘硬糠致冻龊笤偃サ粽诒文z,經(jīng)第二次硼擴(kuò)散(Boron-diffused),之后蝕刻掉(etching)犧牲層等六個(gè)步驟后再形成抗反射層后續(xù)制作工藝。所以這種結(jié)構(gòu)的制造方式相當(dāng)?shù)睦щy及繁瑣。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能電池,可降低制作成本并提升結(jié)構(gòu)的性能。
本發(fā)明還提供一種太陽(yáng)能電池,可避免基板損傷并降低少數(shù)載子復(fù)合的機(jī)率,以提升組件性能。
本發(fā)明的太陽(yáng)能電池包括n型硅基板、p型摻雜區(qū)、抗反射層、n+型背電場(chǎng)、鋁電極、鋁摻雜區(qū)以及背電極。n型硅基板具有第一表面與相對(duì)第一表面的第二表面。p型摻雜區(qū)形成于n型硅基板的第一表面。抗反射層形成于p型摻雜區(qū)上。鋁電極形成于p型摻雜區(qū)上,而鋁摻雜區(qū)形成于鋁電極下的p型摻雜區(qū)內(nèi),其中鋁摻雜區(qū)與鋁電極直接接觸。n+型背電場(chǎng)形成于n型硅基板的第二表面,背電極則形成于n型硅基板的第二表面上。
本發(fā)明的另一太陽(yáng)能電池包括n型硅基板、p型摻雜區(qū)、多晶硅層、抗反射層、n+型背電場(chǎng)、鋁電極、鋁摻雜區(qū)以及背電極。n型硅基板具有第一表面與相對(duì)第一表面的第二表面。p型摻雜區(qū)形成于n型硅基板的第一表面。多晶硅層形成于p型摻雜區(qū)上。抗反射層形成于多晶硅層上。鋁電極形成于多晶硅層上,而鋁摻雜區(qū)形成于鋁電極下的多晶硅層內(nèi),其中鋁摻雜區(qū)與鋁電極直接接觸。n+型背電場(chǎng)形成于n型硅基板的第二表面,背電極則形成于n型硅基板的第二表面上。
基于上述,本發(fā)明利用鋁金屬同時(shí)作為正面電極與選擇性射極(p++摻雜區(qū))的摻雜來(lái)源,所以可經(jīng)由簡(jiǎn)單的制作工藝,達(dá)到減少電極與基板的接觸損失以及降低成本的功效。此外,本發(fā)明還可利用多晶硅層隔開(kāi)硅基板與鋁金屬,以避免制作鋁電極時(shí)使用激光開(kāi)槽對(duì)基板的損傷,而且多晶硅層對(duì)基板的其他區(qū)域有表面鈍化的效果,因此能進(jìn)一步降低少數(shù)載子復(fù)合。
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂,下文特別列舉實(shí)施例,并配合所附附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施例的一種太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)剖面示意圖;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





