[發明專利]裝卸片裝置以及磁控濺射鍍膜設備

在審

• 申請號: 201811441180.1
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN110616407A
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 徐旻生;莊炳河;王應斌;龔文志;李永杰;張亮
• 申請（專利權）人: 愛發科豪威光電薄膜科技(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 44414 深圳中一聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 張全文

本發明屬于磁控濺射鍍膜技術領域，尤其涉及一種裝卸片裝置以及磁控濺射鍍膜設備，其中，裝卸片裝置包括裝料機構和卸料機構，裝料機構包括裝料抓爪、裝料驅動組件、裝料升降組件以及裝料吸持組件，卸料機構包括卸料抓爪、卸料驅動組件、裝料升降組件以及卸料吸持組件?；诎l明的結構，可以不斷地將基片裝載至掛片送料裝置，以及在基片完成鍍膜后，再從掛片送料裝置上卸下來，整個過程不需要人工操作，可以連續不斷地作業，極大地提高裝卸片的效率。

技術領域

本發明屬于磁控濺射鍍膜技術領域，尤其涉及一種裝卸片裝置以及磁控濺 射鍍膜設備。

背景技術

磁控濺射鍍膜設備中，需要將基片裝載至磁控濺射鍍膜設備的掛片送料裝 置，在基片完成鍍膜之后，再從掛片送料裝置卸離。目前，將基片裝載至掛片 送料裝置以及從掛片送料裝置卸離的過程較為復雜，導致裝卸效率較低。

發明內容

本發明的目的在于克服上述現有技術的不足，提供了一種裝卸片裝置，其 旨在解決裝卸效率低的問題。

本發明是這樣實現的：

一種裝卸片裝置，與掛片送料裝置配合使用，以將基片掛載至所述掛片送 料裝置，且在基片完成鍍膜之后，再從所述掛片送料裝置卸下基片，其中，所 述掛片送料裝置包括供所述基片粘附的基片架、用于裝載基片架的載料小車以 及用于驅動所述基片架沿一環路徑循環運動并依次經過待裝工位、待卸工位的 驅動機構，所述基片架開設有左右方向貫通設置的掛料孔，所述裝卸片裝置包 括：

裝料機構，包括裝料抓爪、用于驅動所述裝料抓爪作業左右方向往復運動 以使所述裝料抓爪置入或抽離所述掛料孔的裝料驅動組件、驅動所述裝料掛料 驅動上下往復運動且往復運動于所述待裝工位和裝料工位的裝料升降組件以及 用于真空吸持基片并將基片驅動貼合至基片架且在基片粘貼至所述基片架后撤 銷對所述基片的吸持的裝料吸持組件，其中，所述裝料工位位于所述待裝工位 上方；

卸料機構，包括卸料抓爪、用于驅動所述卸料抓爪作業左右方向往復運動 以使所述卸料抓爪置入或抽離所述掛料孔的卸料驅動組件、驅動所述卸料掛料 驅動上下往復運動且往復運動于所述待卸工位和卸料工位的裝料升降組件以及 用于真空吸持基片并將基片取離所述基片架且將基片移至預設位置后撤銷對所 述基片的吸持的卸料吸持組件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。

基于本發明的結構設計，粘附有基片的基片架隨載料小車將反復依次經過 待裝工位、待卸工位。其中，當需要裝料時，首先，使裝料驅動組件位于待裝 工位，其次，在載料小車將運載至待裝工位時，裝料驅動組件使裝料抓爪置入 掛料孔，再次，裝料升降組件驅動裝料驅動組件從待裝工位上升到裝料工位， 最后，卸料吸持組件真空吸持基片并將基片驅動貼合至基片架且在基片粘貼至 基片架后撤銷對基片的吸持。而當要卸料時，首先，使卸料驅動組件位于待卸 工位，其次，在載料小車將運載至待卸工位時，卸料驅動組件使卸料抓爪置入 掛料孔，再次，卸料升降組件驅動卸料驅動組件從待卸工位上升到卸料工位，最后，卸料吸持組件用于真空吸持基片并將基片取離基片架且將基片移至預設 位置后撤銷對基片的吸持。由此，基于發明的結構，可以不斷地將基片裝載至 掛片送料裝置，以及在基片完成鍍膜后，再從掛片送料裝置上卸下來，整個過 程不需要人工操作，可以連續不斷地作業，極大地提高裝卸片的效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要 使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一 些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還 可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例提供的裝卸片裝置應用于磁控濺射鍍膜設備的整體俯 視圖；

圖2是本發明實施例提供的裝卸片裝置的側視圖；

圖3是本發明實施例提供的裝卸片裝置的裝料升降組件、裝料抓爪和裝料 驅動組件的結構示意圖；