[發(fā)明專利]裝卸片裝置以及磁控濺射鍍膜設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811441180.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN110616407A
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐旻生;莊炳河;王應(yīng)斌;龔文志;李永杰;張亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛發(fā)科豪威光電薄膜科技(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 44414 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張全文

1.一種裝卸片裝置，與掛片送料裝置配合使用，以將基片掛載至所述掛片送料裝置，且在基片完成鍍膜之后，再從所述掛片送料裝置卸下基片，其中，所述掛片送料裝置包括供所述基片粘附的基片架、用于裝載基片架的載料小車以及用于驅(qū)動(dòng)所述基片架沿一環(huán)路徑循環(huán)運(yùn)動(dòng)并依次經(jīng)過待裝工位、待卸工位的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述基片架開設(shè)有左右方向貫通設(shè)置的掛料孔，其特征在于，所述裝卸片裝置包括：

裝料機(jī)構(gòu)，包括裝料抓爪、用于驅(qū)動(dòng)所述裝料抓爪作業(yè)左右方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)以使所述裝料抓爪置入或抽離所述掛料孔的裝料驅(qū)動(dòng)組件、驅(qū)動(dòng)所述裝料掛料驅(qū)動(dòng)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)且往復(fù)運(yùn)動(dòng)于所述待裝工位和裝料工位的裝料升降組件以及用于真空吸持基片并將基片驅(qū)動(dòng)貼合至基片架且在基片粘貼至所述基片架后撤銷對(duì)所述基片的吸持的裝料吸持組件，其中，所述裝料工位位于所述待裝工位上方；

卸料機(jī)構(gòu)，包括卸料抓爪、用于驅(qū)動(dòng)所述卸料抓爪作業(yè)左右方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)以使所述卸料抓爪置入或抽離所述掛料孔的卸料驅(qū)動(dòng)組件、驅(qū)動(dòng)所述卸料掛料驅(qū)動(dòng)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)且往復(fù)運(yùn)動(dòng)于所述待卸工位和卸料工位的裝料升降組件以及用于真空吸持基片并將基片取離所述基片架且將基片移至預(yù)設(shè)位置后撤銷對(duì)所述基片的吸持的卸料吸持組件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。

2.如權(quán)利要求1所述的裝卸片裝置，其特征在于，所述裝料驅(qū)動(dòng)組件包括裝料安裝座、至少兩條連接于所述裝料安裝座并向上延伸形成的裝料滑桿以及至少兩個(gè)并分別與一所述裝料滑軌滑接配合并與所述裝料驅(qū)動(dòng)組件連接的裝料滑接件以及連接于所述裝料安裝座并用于驅(qū)動(dòng)所述裝料滑接件沿所述裝料滑桿上下滑動(dòng)的裝料驅(qū)動(dòng)器。

3.如權(quán)利要求1所述的裝卸片裝置，其特征在于，各裝料滑接件均至少通過一對(duì)坦克輪來與裝料滑桿滑接配合。

4.如權(quán)利要求1所述的裝卸片裝置，其特征在于，所述卸料驅(qū)動(dòng)組件包括卸料安裝座、至少兩條連接于所述卸料安裝座并向上延伸形成的卸料滑桿以及至少兩個(gè)并分別與一所述卸料滑軌滑接配合并與所述裝料驅(qū)動(dòng)組件連接的卸料滑接件以及連接于所述卸料安裝座并用于驅(qū)動(dòng)所述卸料滑接件沿所述卸料滑桿上下滑動(dòng)的卸料驅(qū)動(dòng)器。

5.如權(quán)利要求4所述的裝卸片裝置，其特征在于，各卸料滑接件均至少通過一對(duì)坦克輪來與卸料滑桿滑接配合。

6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的裝卸片裝置，其特征在于，所述裝料吸持組件包括裝料真空發(fā)生器、裝料吸料機(jī)構(gòu)以及裝料機(jī)械手，所述裝料吸料機(jī)構(gòu)至少包括設(shè)有一個(gè)裝料吸盤，所述裝料機(jī)械手用于驅(qū)動(dòng)各所述裝料吸盤至所述裝料工位，所述裝料真空發(fā)生器用于對(duì)各所述裝料吸盤與基片之間形成的空間進(jìn)行抽真空，以使基片與所述裝料吸盤相吸持，其中，所述裝料機(jī)械手還用于驅(qū)動(dòng)所述裝料吸料機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)。

7.如權(quán)利要求6所述的裝卸片裝置，其特征在于，所述裝料機(jī)械手包括裝料機(jī)械底座以及裝料緩沖機(jī)構(gòu)，所述裝料機(jī)械底座開設(shè)有裝料緩沖腔，所述裝料機(jī)械底座于其左側(cè)開設(shè)有將所述裝料緩沖腔連通至外部的左側(cè)裝料通孔，而于其右側(cè)至少一個(gè)開設(shè)有將所述裝料緩沖腔連通至外部的右側(cè)裝料通孔，所述右側(cè)裝料通孔開設(shè)的數(shù)量、位置均與所述裝料吸盤對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述裝料緩沖機(jī)構(gòu)包括從穿過所述左側(cè)裝料通孔并從外部延伸至所述裝料緩沖腔的裝料引氣件、至少一個(gè)且分別穿過一個(gè)所述右側(cè)裝料通孔并分別連接一個(gè)所述裝料吸盤的裝料引氣桿、位于所述裝料緩沖腔并連接所述裝料引氣件和所述裝料引氣桿的裝料連接件、連接于所述裝料引氣桿外桿面的裝料卡位件、位于所述裝料緩沖腔內(nèi)并位于所述裝料連接件和所述裝料卡位件且套接所述裝料引氣桿的第一裝料壓縮彈簧以及位于所述裝料緩沖腔外并位于所述裝料連接件和所述裝料卡位件的第二裝料壓縮彈簧，所述第一裝料壓縮彈簧一端與所述裝料連接件彈性抵觸，另一端與所述裝料機(jī)械底座彈性抵觸，所述第一裝料壓縮彈簧一端與所述裝料卡位件彈性抵觸，另一端與所述裝料機(jī)械底座彈性抵觸，其中，所述裝料引氣件、所述裝料連接件、所述裝料引氣桿共同開設(shè)有連通所述裝料吸盤和所述裝料真空發(fā)生器的裝料連通通道。