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[發(fā)明專利]內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)及其制作方法在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201811436350.7 申請(qǐng)日: 2018-11-28
公開(公告)號(hào): CN111246663A 公開(公告)日: 2020-06-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 胡先欽;沈芾云;何明展;徐筱婷 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 慶鼎精密電子(淮安)有限公司;鵬鼎控股(深圳)股份有限公司
主分類號(hào): H05K1/16 分類號(hào): H05K1/16;H05K3/06
代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334 代理人: 習(xí)冬梅;薛曉偉
地址: 223065 江蘇省*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電阻 結(jié)構(gòu) 及其 制作方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,包括步驟:

提供一基材層;

通過化學(xué)鍍方式在所述基材層的上形成一電阻材料層;

在所述電阻材料層的遠(yuǎn)離所述基材層的表面上形成一鍍銅層,得到一內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)中間體;所述鍍銅層包括一第一導(dǎo)電線路及一第二導(dǎo)電線路,所述電阻材料層從所述第一導(dǎo)電線路及第二導(dǎo)電線路之間裸露出來;

在所述鍍銅層上形成一防鍍膜層,所述防鍍膜層覆蓋所述第一導(dǎo)電線路與第二導(dǎo)電線路之間的電阻材料層;及

通過化學(xué)試劑蝕刻掉未被覆蓋的所述電阻材料層,并移除所述防鍍膜層。

2.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,形成所述電阻材料層的化學(xué)鍍?nèi)芤喊蛩徭嚒⒋瘟姿徕c及聚四氟乙烯,在所述化學(xué)鍍?nèi)芤褐校隽蛩徭嚨馁|(zhì)量濃度為:15~30g/L,所述次磷酸鈉的質(zhì)量濃度為:10~25g/L,所述聚四氟乙烯的體積比濃度是:5~17.5ml/L。

3.如權(quán)利要求2所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述化學(xué)鍍?nèi)芤哼€包括檸檬酸鈉、乙酸鈉及氟碳型界面活性劑,在所述化學(xué)鍍?nèi)芤褐校鰴幟仕徕c的質(zhì)量濃度為:10~30g/L,所述乙酸鈉的質(zhì)量濃度為:0~20g/L,所述氟碳型界面活性劑的質(zhì)量濃度為:0.5~2.5g/L。

4.如權(quán)利要求2所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述化學(xué)鍍?nèi)芤旱臏囟葹?5~85攝氏度。

5.如權(quán)利要求2所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述化學(xué)鍍?nèi)芤旱膒H值為4.5~5.5。

6.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述電阻材料層的厚度為85±15nm。

7.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,形成所述內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)中間體包括步驟:

在所述電阻材料層的遠(yuǎn)離所述基材層的表面上形成一干膜層,所述干膜層包括一第一開口及一與所述第一開口相鄰的第二開口,部分所述電阻材料層從所述第一開口及第二開口中裸露出來;

通過電鍍方式在所述干膜層的所述第一開口及第二開口內(nèi)形成一鍍銅層,所述鍍銅層包括一第一導(dǎo)電線路及一與所述第一導(dǎo)電線路相鄰的第二導(dǎo)電線路,所述第一導(dǎo)電線路形成在所述第一開口內(nèi),所述第二導(dǎo)電線路形成在所述第二開口內(nèi);及

移除所述干膜層。

8.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述防鍍膜層還覆蓋所述第一導(dǎo)電線路及第二導(dǎo)電線路。

9.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述化學(xué)試劑為除鎳藥水。

10.一種內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu),所述內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)采用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的內(nèi)埋電阻結(jié)構(gòu)的制作方法制作而成,所述電阻材料層的厚度為85±15nm。

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說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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