[發明專利]基板輸送裝置及基板加工裝置

在審

• 申請號: 201811435190.4
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN110027909A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 中田勝喜;谷垣內平道
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

本發明提供一種基板加工裝置，能夠防止由帶的翹起而引起的脆性材料基板的浮起，高精度地加工基板。基板加工裝置具有：帶(11)，其輸送脆性材料基板；以及夾緊裝置(40)，其將載置于帶(11)上的脆性材料基板進行夾緊。夾緊裝置(40)具有：基板支承部(51)，其從下方支承脆性材料基板；以及臂(57)，其相對于基板支承部(51)進行轉動或移動，在與基板支承部(51)之間夾入脆性材料基板，在所述帶上形成孔，所述基板支承部配置于所述孔，所述孔的形狀成為朝向所述脆性材料基板的輸送方向而越來越細的形狀。

技術領域

本發明涉及輸送脆性材料基板的基板輸送裝置及加工脆性材料基板的基板加工裝置。

背景技術

基板加工裝置被用于分割由例如玻璃等形成的脆性材料基板。對比文獻1公開了現有技術中的基板加工裝置的一個示例。該基板加工裝置具有：輸送脆性材料基板的帶、在脆性材料基板的輸送方向上配置于帶的上游側的定位裝置和夾緊裝置(基板輸送裝置)、以及在脆性材料基板的輸送方向上配置于帶的下游側的刻劃裝置。基板輸送裝置還具有用于改變夾緊裝置相對于帶的高度的升降機構。

根據上述基板輸送裝置，首先通過升降機構將夾緊裝置退避到帶的下方的位置，通過定位裝置來確定脆性材料基板的位置。接著，通過定位裝置將脆性材料基板輸送到帶上。此時，脆性材料基板在退避至帶的下方的夾緊裝置上通過。接著，通過升降機構，夾緊裝置移動到能夠夾緊的位置，載置在帶上的脆性材料基板被夾緊裝置夾緊。接著，在輸送方向上對帶和夾緊裝置進行驅動以使帶和夾緊裝置移動，脆性材料基板被輸送到刻劃裝置。帶例如為環形帶，通過用于對帶進行驅動的驅動輥和對帶進行支承的可轉動的多個轉動輥而被支承，通過驅動輥的轉動沿著轉動輥被驅動。接著，利用刻劃裝置，在脆性材料基板形成分割線。然后，通過該脆性材料基板沿著分割線被分割，形成規定的大小的面板。

在專利文獻2中公開了在帶上形成孔，將夾緊裝置的夾緊部50(從下方支承基板的基板支承部和從上方按壓基板的臂)固定于該孔，伴隨著帶的移動而與帶的孔一起移動，使帶上的基板的端部在該孔的位置夾緊。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：再公表專利WO2005/087458號公報；

專利文獻2：日本特開2016-083822號公報。

發明要解決的課題

然而，輸送脆性材料基板的帶所形成的孔在例如用夾緊裝置對脆性材料基板的輸送方向上游側的端部夾緊的情況下，通常朝向脆性材料基板的輸送方向(下游側)成為半圓形狀。但是，對于半圓形狀，在將通過夾緊裝置的移動而夾緊的脆性材料基板例如向輸送方向的下游側的刻劃裝置輸送時，帶的孔在對帶的基板載置面的下游側端部進行支承的轉動輥上移動，沿著轉動輥的表面彎曲時帶的孔的半圓形狀部分的邊緣翹起，脆性材料基板浮起，因此在以該狀態加工基板的情況下，難以進行精度良好的基板的加工，此外，有可能由于帶的孔的翹起的邊緣而導致基板損傷。

發明內容

本發明的目的是提供一種基板輸送裝置和基板加工裝置，在用夾緊裝置支承并輸送脆性材料基板的基板輸送裝置及加工的基板加工裝置中，能夠防止為了配置夾緊裝置的夾緊部而形成的帶的孔的邊緣翹起、使脆性材料基板浮起以及損傷，能夠精度良好地加工基板。

用于解決課題的方案

本發明的一個方式的基板輸送裝置和基板加工裝置，其特征在于，具有：帶，其輸送脆性材料基板；以及夾緊裝置，其對載置于所述帶上的所述脆性材料基板進行夾緊，所述夾緊裝置具有：基板支承部，其從下方支承所述脆性材料基板；以及臂，其相對于所述基板支承部進行轉動或移動，在與所述基板支承部之間夾入所述脆性材料基板，在所述帶形成有孔，所述基板支承部配置于所述孔，所述孔的形狀成為朝向所述脆性材料基板的輸送方向而越來越細的形狀。