[發(fā)明專利]基板輸送裝置及基板加工裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811435190.4 | 申請日： | 2018-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN110027909A | 公開（公告）日： | 2019-07-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 中田勝喜;谷垣內(nèi)平道 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;劉繼富 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 脆性材料基板 基板支承部 基板加工裝置 夾緊裝置 基板輸送裝置 加工基板 浮起 夾緊 夾入 翹起 支承 轉(zhuǎn)動 移動 配置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基板輸送裝置，其特征在于，具有：
帶，其輸送脆性材料基板；以及
夾緊裝置，其對載置于所述帶上的所述脆性材料基板進(jìn)行夾緊，
所述夾緊裝置具有：
基板支承部，其從下方支承所述脆性材料基板；以及
臂，其相對于所述基板支承部進(jìn)行轉(zhuǎn)動或移動，在與所述基板支承部之間夾入所述脆性材料基板，
在所述帶形成有孔，所述基板支承部配置于所述孔，所述孔的形狀成為朝向所述脆性材料基板的輸送方向而越來越細(xì)的形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，
所述帶通過在載置所述脆性材料基板的部分的所述脆性材料基板的輸送方向的上游側(cè)配置的輥和在載置所述脆性材料基板的部分的所述脆性材料基板的輸送方向的下游側(cè)配置的輥而被支承。
3.一種基板加工裝置，其具有權(quán)利要求1或2所述的基板輸送裝置。
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