日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]納米晶體石墨烯、形成納米晶體石墨烯的方法、和設(shè)備有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201811431633.2 申請日: 2018-11-27
公開(公告)號: CN109837524B 公開(公告)日: 2023-03-31
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 宋伣在;申建旭;申鉉振;李昌錫;金昌炫;卞卿溵;李升元;李殷奎 申請(專利權(quán))人: 三星電子株式會社
主分類號: C23C16/26 分類號: C23C16/26;C23C16/505;C23C16/511;C01B32/186;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 代理人: 金擬粲
地址: 韓國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 納米 晶體 石墨 形成 方法 設(shè)備
【權(quán)利要求書】:

1.通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝形成納米晶體石墨烯的方法,所述方法包括使用反應(yīng)氣體的等離子體在700℃或更低的溫度下在襯底上直接生長納米晶體石墨烯,所述反應(yīng)氣體包括碳源、惰性氣體和氫氣,

其中所述納米晶體石墨烯包括納米尺寸的晶體并具有在50%至99%的范圍內(nèi)的具有sp2鍵合結(jié)構(gòu)的碳與總碳的比率,

其中所述方法不使用催化劑,

其中所述襯底包括IV族半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體化合物、和絕緣材料的至少一種。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述納米晶體石墨烯包括1原子%至20原子%的量的氫。

3.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述納米晶體石墨烯包括具有0.5nm至100nm的尺寸的晶體。

4.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述納米晶體石墨烯具有1.6g/cc至2.1g/cc的密度。

5.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述碳源、所述惰性氣體和所述氫氣的體積比為1:0.01至5000:0至300。

6.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述碳源包括烴氣體和含碳液體前體的蒸氣的至少一種。

7.如權(quán)利要求6所述的方法,其中所述前體包括具有其中6≤x≤42且6≤y≤28的化學(xué)式CxHy的芳族烴、所述芳族烴的衍生物、具有其中1≤x≤12且2≤y≤26的化學(xué)式CxHy的脂族烴和所述脂族烴的衍生物的至少一種。

8.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述惰性氣體包括氬氣、氖氣、氮?dú)狻⒑狻㈦礆夂碗瘹獾闹辽僖环N。

9.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述納米晶體石墨烯在180℃至700℃的工藝溫度下生長。

10.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述納米晶體石墨烯在0.001托至10托的工藝壓力下生長。

11.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述等離子體由至少一個(gè)射頻(RF)等離子體產(chǎn)生裝置或至少一個(gè)微波(MW)等離子體產(chǎn)生裝置產(chǎn)生。

12.如權(quán)利要求11所述的方法,其中所述等離子體是具有3MHz至100MHz的頻率范圍的射頻等離子體、或具有0.7GHz至2.5GHz的頻率范圍的微波等離子體。

13.如權(quán)利要求1所述的方法,其中用于產(chǎn)生反應(yīng)氣體的等離子體的功率范圍為10W至4000W。

14.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述IV族半導(dǎo)體材料包括硅(Si)、鍺(Ge)或錫(Sn)。

15.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述半導(dǎo)體化合物包括其中以下的至少兩種彼此結(jié)合的材料:硅(Si)、鍺(Ge)、碳(C)、鋅(Zn)、鎘(Cd)、鋁(Al)、鎵(Ga)、銦(In)、硼(B)、氮(N)、磷(P)、硫(S)、硒(Se)、砷(As)、銻(Sb)和碲(Te)。

16.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述絕緣材料包括以下的至少一種的氧化物、氮化物、碳化物及其衍生物中的至少一種:硅(Si)、鎳(Ni)、鋁(Al)、鎢(W)、釕(Ru)、鈷(Co)、錳(Mn)、鈦(Ti)、鉭(Ta)、金(Au)、鉿(Hf)、鋯(Zr)、鋅(Zn)、釔(Y)、鉻(Cr)、銅(Cu)、鉬(Mo)和釓(Gd)。

17.如權(quán)利要求16所述的方法,其中所述氧化物、氮化物、碳化物和衍生物中的至少一種包含氫(H)。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于三星電子株式會社,未經(jīng)三星電子株式會社許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811431633.2/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 欧美乱妇高清无乱码| 少妇bbwbbwbbw高潮| 午夜一区二区视频| 国产精品suv一区二区6| 久久99国产综合精品| 欧美在线观看视频一区二区| 日本高清一二区| www.日本一区| 精品国产乱码一区二区三区在线| 国产日本欧美一区二区三区| 国产欧美日韩一区二区三区四区| 国产精品高清一区| 91麻豆精品国产91久久久更新资源速度超快 | 91久久香蕉| 午夜诱惑影院| 国产无套精品一区二区| 国产一a在一片一级在一片 | 久久影院国产精品| 久久精品99国产国产| 强制中出し~大桥未久4| 亚洲精品一区,精品二区| 国产电影精品一区二区三区| 欧洲精品一区二区三区久久| 国产在线精品一区二区在线播放| 久久噜噜少妇网站| 亚洲区在线| 精品久久久影院| 国产区精品区| 午夜电影三级| 国产电影一区二区三区下载| 久久精品综合| 国产精品九九九九九九九| 中文字幕日本精品一区二区三区| 欧洲另类类一二三四区| 久久噜噜少妇网站| 国产乱子伦农村xxxx| 午夜毛片在线| 欧美hdxxxx| 国产精品免费观看国产网曝瓜| 日韩欧美一区二区在线视频| 欧美精品一卡二卡| 国产日韩欧美在线影视| 亚洲欧美国产精品久久| 69久久夜色精品国产69–| 日本午夜久久| 狠狠色噜噜狼狼狼色综合久| 日本99精品| 国产精品黑色丝袜的老师| 欧美精品一区二区三区久久久竹菊| 国产一区二区午夜| 欧美hdxxxx| 年轻bbwbbw高潮| 日韩一区二区福利视频| 97久久国产亚洲精品超碰热| 亚洲精品www久久久| 国产精品亚州| 午夜免费片| 日韩欧美一区二区久久婷婷| 国产精品一二三区视频网站| 国产在线不卡一区| 99久久www免费| 国产精品一区二区av麻豆| 99久久精品国产系列| 美日韩一区| 欧美午夜精品一区二区三区| 午夜影院你懂的| 丰满岳乱妇在线观看中字| 日韩久久影院| 中文字幕一区三区| 99久精品视频| 国产精品videossex国产高清| 特高潮videossexhd| 久久国产欧美一区二区三区精品| 国产日韩欧美三级| 国产精品亚洲一区| 午夜特级片| 日韩中文字幕区一区有砖一区| 欧美精品日韩| 国产91在线播放| 日韩一区二区精品| 中文字幕a一二三在线| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 97久久精品人人澡人人爽| 国产精品一区二区人人爽| 日韩精品一二区| 欧美视屏一区二区| 精品久久一区| 性欧美1819sex性高播放| 激情久久综合网| 好吊妞国产欧美日韩软件大全| 欧美午夜羞羞羞免费视频app| 午夜爽爽爽男女免费观看| 伊人欧美一区| 99国产精品免费| 国产另类一区| 亚洲精品无吗| 日韩一级视频在线| 亚洲福利视频一区| 国产精品视频二区不卡| 日韩精品久久久久久久电影99爱| 热99re久久免费视精品频软件| 日韩av一区不卡| 日韩欧美激情| 91精品免费观看| xxxxx色| 久久国产精品视频一区| 国产一级大片| 日本一区二区电影在线观看| 国产在线欧美在线| 国产69精品久久久久孕妇不能看 | 狠狠插狠狠插| xxxx18日本护士高清hd| 欧美一区二区三区四区五区六区 | 色婷婷综合久久久中文一区二区| 国产无遮挡又黄又爽又色视频 | 欧美乱码精品一区二区三| 四虎国产精品久久| 日本xxxx护士高潮hd| 日韩av片无码一区二区不卡电影| 欧美激情精品久久久久久免费 | 亚洲国产精品美女| ass韩国白嫩pics| 国产精品白浆一区二区| 精品国产一区二区三区在线| 色婷婷久久一区二区三区麻豆| 狠狠色噜噜狠狠狠狠视频| 午夜一二区| 久久久久久久国产精品视频| 欧洲精品一区二区三区久久| 久久久久久中文字幕| 国产一级精品在线观看| 日本三级韩国三级国产三级| 欧美一区二区三区免费在线观看| 国产一区二区视频免费在线观看| 欧美日韩国产专区| 欧美亚洲视频二区| 国产精品综合在线观看| 日本少妇高潮xxxxⅹ| 欧美日韩国产专区| 亚洲一区二区国产精品| 亚洲午夜精品一区二区三区| 日本五十熟hd丰满| 日韩精品一区二区中文字幕| 国产韩国精品一区二区三区| 国产91色综合| 97人人添人人爽一区二区三区| 欧美在线视频三区| 久久午夜鲁丝片| 久久久久亚洲最大xxxx| 国产在线干| 欧美日韩一区视频| 97欧美精品| 久久综合伊人77777麻豆| 亚洲日本国产精品| 亚洲精品久久久久玩吗| 欧美日韩激情在线| 99精品在免费线偷拍| 97精品国产97久久久久久免费| 思思久久96热在精品国产| 日韩中文字幕一区二区在线视频| 999亚洲国产精| 狠狠色噜噜狠狠狠狠色综合久老司机| 欧美老肥婆性猛交视频| 国产高清在线精品一区二区三区| 91av一区二区三区| 男女视频一区二区三区| 亚洲欧美日韩综合在线| 久久夜靖品2区| 狠狠色狠狠色综合日日五| 性色av香蕉一区二区| 久久国产精彩视频| www.日本一区| 国产精品久久久久久久久久久不卡| 国产一二区精品| 狠狠色噜噜狠狠狠狠米奇7777| 亚洲自偷精品视频自拍| 国产精品欧美一区二区三区| 扒丝袜pisiwa久久久久| 久久国产免费视频| 国产精品一二三区视频网站| 国产日韩欧美在线影视| 狠狠色噜噜狠狠狠狠777| freexxxx性| 中文字幕欧美久久日高清| 综合在线一区| 亚洲欧美一区二区三区不卡| 中文字幕国内精品| 日韩一级视频在线| 日韩一级免费视频| 91精品一区在线观看| 国产精品人人爽人人做av片| 视频国产一区二区| 日本一区二区三区在线视频| 午夜片在线| 李采潭无删减版大尺度| 一区二区在线不卡| 国产精品不卡一区二区三区| 久久国产精久久精产国| 午夜看片网| 欧美精品第一区| 日本边做饭边被躁bd在线看| 国产午夜亚洲精品午夜鲁丝片| 日韩精品久久久久久久电影99爱| 欧洲在线一区| 一区二区三区四区中文字幕| 高清人人天天夜夜曰狠狠狠狠| 午夜影院毛片| 国产1区2| 日韩av在线电影网| 夜夜嗨av一区二区三区中文字幕 | 久久99中文字幕| 波多野结衣女教师电影| 激情久久久久久| 久久99精品国产一区二区三区| 国产69久久久欧美一级 | 99国产精品免费| 国产精品一区二区av麻豆| 国产欧美日韩中文字幕| 91区国产| 国产亚洲精品久久久久久久久动漫| 国产日韩欧美专区| 69久久夜色精品国产7777| 国内自拍偷拍一区| 在线观看国产91| 激情欧美一区二区三区| 久久99国产综合精品| 亚洲精品国产主播一区| 国产乱码一区二区三区| 色综合久久久| 91麻豆产精品久久久| 美国三级日本三级久久99| 一区二区在线精品| 久久久精品欧美一区二区免费| 日韩精品久久久久久久的张开腿让| 四虎影视亚洲精品国产原创优播| 好吊妞国产欧美日韩软件大全| 精品国产一级| 免费毛片**| 日韩av在线高清| 欧美hdxxxx| 国产精品日韩一区二区| 国产午夜精品免费一区二区三区视频 | 日韩av一区二区在线播放 | 91精品一二区| 一级久久久| 亚洲欧美日韩国产综合精品二区|