[發(fā)明專利]柔性膜敷放裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811431595.0 | 申請日: | 2018-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN109742181A | 公開(公告)日: | 2019-05-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 石保強(qiáng) | 申請(專利權(quán))人: | 漢能移動能源控股集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H02S20/26 |
| 代理公司: | 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315 | 代理人: | 許志勇 |
| 地址: | 100107 北京市朝陽*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 治具 固定主體 柔性膜 抓取 波浪形狀 基板放置 夾緊機(jī)構(gòu) 模塊固定 移動機(jī)構(gòu) 轉(zhuǎn)折處 波峰 波谷 施力 機(jī)構(gòu)連接 連續(xù)間隔 施力機(jī)構(gòu) 作業(yè)效率 多曲面 放置位 下表面 基板 豎直 申請 匹配 自動化 | ||
1.一種柔性膜敷放裝置,其特征在于,包括:
基板放置位,用于放置多曲面基板;
柔性膜放置位,用于放置柔性膜;
敷放機(jī)構(gòu),包括:
抓取模塊,用于抓取所述柔性膜;
治具,其下表面為敷放面,用于將柔性膜敷放在多曲面基板上,所述敷放面為與多曲面基板匹配的波浪形狀,所述波浪形狀由連續(xù)間隔設(shè)置的波峰以及波谷構(gòu)成,每個所述波峰或所述波谷均存在一個轉(zhuǎn)折處,所述敷放面最多包含一個所述轉(zhuǎn)折處;
施力模塊,與所述治具連接,用于帶動所述治具沿豎直方向往復(fù)運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,所述敷放機(jī)構(gòu)包括固定主體、多個所述治具以及與各所述治具獨立連接的所述施力模塊,多個所述治具沿所述波浪形狀的延伸方向依次緊密排布,且每個所述敷放面分別匹配多曲面基板對應(yīng)位置的波浪形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,每個所述敷放面均為一個波峰或一個波谷。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,所述抓取模塊包括:
多根抽氣管,與所述固定主體連接,并沿豎直方向穿過所述治具;
吸盤,設(shè)置在所述抽氣管遠(yuǎn)離所述固定主體的一端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,還包括移動機(jī)構(gòu),其與所述敷放機(jī)構(gòu)連接,用于使所述敷放機(jī)構(gòu)在所述基板放置位以及所述柔性膜放置位之間移動;所述基板放置位與所述柔性膜放置位沿第一方向并排排布,所述移動機(jī)構(gòu)為水平移動機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,還包括夾緊機(jī)構(gòu),其設(shè)置在所述基板放置位的兩側(cè),用于與所述多曲面基板共同夾緊所述柔性膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,所述夾緊機(jī)構(gòu)包括:
支撐主體;
平移模塊,與所述支撐主體連接,用于帶動所述支撐主體靠近/遠(yuǎn)離所述多曲面基板;
夾緊部,與所述支撐主體轉(zhuǎn)動連接,具有用于將所述柔性膜向下壓緊在所述多曲面基板上的下壓端;
下壓模塊,固定在所述支撐主體上且與所述夾緊部連接,用于使所述下壓端下壓。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,還包括:
多曲面基板傳送機(jī),沿與所述第一方向垂直的第二方向輸送多曲面基板,所述基板放置位位于所述多曲面基板傳送機(jī)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,所述波浪形狀的所述波峰與所述波谷沿所述第二方向排布,所述夾緊機(jī)構(gòu)沿所述第一方向設(shè)置在所述基板放置位的兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的柔性膜敷放裝置,其特征在于,所述敷放機(jī)構(gòu)還包括:
豎直運動模塊,與所述固定主體連接,并能夠帶動所述固定主體沿豎直方向往復(fù)運動。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





