[發明專利]一種氣相沉積爐

在審

• 申請號: 201811427008.0
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109306473A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 戴煜;胡祥龍;周岳兵
• 申請（專利權）人: 湖南頂立科技有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本發明公開了一種氣相沉積爐，包括殼體，所述殼體內腔設置有底部開口的保溫室，所述保溫室的底部開口處設置有密封板且所述密封板與所述保溫室完全分離，所述密封板上貫穿設置有導力桿且所述導力桿與所述密封板固定連接，所述導力桿上段一直延伸至所述保溫室內腔且所述導力桿頂部設置有用于工件承載的料板，所述導力桿下段貫穿所述殼體底板且所述導力桿與所述殼體完全分離，所述導力桿底部一直延伸至所述殼體外部且所述導力桿底部設置有重量傳感器。本發明提供的該氣相沉積爐通過其結構設計，能在線監測正在進行氣相沉積的工件的重量變化，有效提高工件的處理質量。

技術領域

本發明涉及化工設備領域，更具體地說，特別涉及一種氣相沉積爐。

背景技術

化學氣相沉積技術是應用氣態物質在固體表面發生化學反應并產生固態沉積物的一種工藝，它大致包含三步：(1)形成揮發性物質；(2)把上述物質轉移至沉積區域；(3)在固體上產生化學反應并產生固態物質。

化學氣相沉積法是生產碳碳、碳化硅、氮化硼等復合材料的常用方法，在沉積工藝的進行過程中，產品重量會逐漸增加，但由于目前氣相沉積爐結構設計的局限性，現有氣相沉積爐都不能在線監測正在進行氣相沉積的工件的重量變化，只能是工藝完成后再取出工件進行稱量，如此，在氣相沉積工藝過程中，操作者無法根據工件的具體沉積狀態調整設備的工藝參數及沉積時間，極大影響了工件的處理質量。

發明內容

本發明要解決的技術問題為提供一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐通過其結構設計，能在線監測正在進行氣相沉積的工件的重量變化，有效提高工件的處理質量。

一種氣相沉積爐，包括殼體，所述殼體內腔設置有底部開口的保溫室，所述保溫室的底部開口處設置有密封板且所述密封板與所述保溫室完全分離，所述密封板上貫穿設置有導力桿且所述導力桿與所述密封板固定連接，所述導力桿上段一直延伸至所述保溫室內腔且所述導力桿頂部設置有用于工件承載的料板，所述導力桿下段貫穿所述殼體底板且所述導力桿與所述殼體完全分離，所述導力桿底部一直延伸至所述殼體外部且所述導力桿底部設置有重量傳感器。

優選地，所述料板的前后左右四個角均設置有導力桿。

優選地，所述導力桿下段套設有波紋管，所述波紋管頂面壓緊在所述殼體底板的下表面上，所述波紋管底面壓緊在所述重量傳感器上。

優選地，所述密封板與所述保溫室之間設置有相互匹配的階梯面。

優選地，所述料板上設置有均勻密布的透氣孔。

優選地，所述殼體上設置有用于所述殼體內腔氣壓監測的壓力傳感器。

優選地，所述殼體外部設置有控制器，所述壓力傳感器及所述重量傳感器均與所述控制器相連接。

優選地，所述保溫室底面與所述殼體底板的上表面之間設置有環形擋板，且所述密封板被所述環形擋板所包圍。

優選地，所述密封板上插設有用于所述保溫室內氣相沉積所需反應氣體輸入的進氣管，所述保溫室頂板上插設有用于所述保溫室氣相沉積反應后氣體輸出的出氣管。

本發明的有益效果是：本發明提供的氣相沉積爐具體實施時，殼體與保溫室為一個整體而保持靜止，隨著工件氣相沉積層的增加，料板受重越來越大，此時，料板會將重力傳導至導力桿，由于導力桿與密封板、料板相固定連接，而密封板與保溫室相分離且導力桿與殼體相分離，因此，工件、料板、導力桿、密封板會作為一個整體一起下壓在重量傳感器上，進而重量傳感器便可以測出此時的重量數據，再減去原始氣相沉積前工件、料板、導力桿、密封板的重量數據，進而便可以得出工件上氣相沉積層的重量。從而無需再等工件出爐就能在線監測正在進行氣相沉積的工件的重量變化，有效提高工件的處理質量。

附圖說明