[發(fā)明專利]一種氣相沉積爐

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811427008.0
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN109306473A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴煜;胡祥龍;周岳兵
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南頂立科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/52
• 分類號(hào): C23C16/52
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種氣相沉積爐，其特征在于，包括殼體，所述殼體內(nèi)腔設(shè)置有底部開口的保溫室，所述保溫室的底部開口處設(shè)置有密封板且所述密封板與所述保溫室完全分離，所述密封板上貫穿設(shè)置有導(dǎo)力桿且所述導(dǎo)力桿與所述密封板固定連接，所述導(dǎo)力桿上段一直延伸至所述保溫室內(nèi)腔且所述導(dǎo)力桿頂部設(shè)置有用于工件承載的料板，所述導(dǎo)力桿下段貫穿所述殼體底板且所述導(dǎo)力桿與所述殼體完全分離，所述導(dǎo)力桿底部一直延伸至所述殼體外部且所述導(dǎo)力桿底部設(shè)置有重量傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述料板的前后左右四個(gè)角均設(shè)置有導(dǎo)力桿。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述導(dǎo)力桿下段套設(shè)有波紋管，所述波紋管頂面壓緊在所述殼體底板的下表面上，所述波紋管底面壓緊在所述重量傳感器上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述密封板與所述保溫室之間設(shè)置有相互匹配的階梯面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述料板上設(shè)置有均勻密布的透氣孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述殼體上設(shè)置有用于所述殼體內(nèi)腔氣壓監(jiān)測的壓力傳感器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述殼體外部設(shè)置有控制器，所述壓力傳感器及所述重量傳感器均與所述控制器相連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述保溫室底面與所述殼體底板的上表面之間設(shè)置有環(huán)形擋板，且所述密封板被所述環(huán)形擋板所包圍。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，所述密封板上插設(shè)有用于所述保溫室內(nèi)氣相沉積所需反應(yīng)氣體輸入的進(jìn)氣管，所述保溫室頂板上插設(shè)有用于所述保溫室氣相沉積反應(yīng)后氣體輸出的出氣管。