[發明專利]光掩膜版及其制作方法

在審

• 申請號: 201811426610.2
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN111221214A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 陳新晉
• 申請（專利權）人: 芯恩（青島）集成電路有限公司
• 主分類號: G03F1/62
• 分類號: G03F1/62
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種光掩膜版，其特征在于，所述光掩膜版至少包括：版本體，保護膜；其中，所述保護膜可拆卸安裝于所述版本體上，以保護所述版本體表面。

2.根據權利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜與所述版本體之間相互卡合。

3.根據權利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜至少包括：第一薄膜，第二薄膜，第一邊框，以及第二邊框；其中，所述第一薄膜和所述第二薄膜相對設置，所述第一邊框和所述第二邊框相對設置，所述第一邊框的兩端分別連接所述第一薄膜和所述第二薄膜的側邊，所述第二邊框的兩端分別連接所述第一薄膜和所述第二薄膜的另一側邊，所述第一邊框和所述第二邊框均具有凸形夾口；其中，所述保護膜通過所述第一薄膜、所述第二薄膜、所述第一邊框和所述第二邊框的組合形成中空通道，所述版本體從所述保護膜的中空通道插入，且所述版本體的兩側分別與所述第一邊框和所述第二邊框的凸形夾口通過過盈配合來相互卡合。

4.根據權利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜至少包括：第一薄膜，第一邊框，以及第二邊框；其中，所述第一邊框和所述第二邊框相對設置，所述第一邊框和所述第二邊框分別連接在所述第一薄膜的兩側，且所述第一邊框和所述第二邊框均具有邊軌；其中，所述版本體的兩側分別設有與所述第一邊框和所述第二邊框的邊軌相適配的滑道，所述保護膜通過所述第一邊框和所述第二邊框的邊軌同時從所述版本體的兩側滑道滑入，從而使所述保護膜與所述版本體之間相互卡合。

5.根據權利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜至少包括：第一薄膜，第一邊框，以及第二邊框；其中，所述第一邊框和所述第二邊框相對設置，所述第一邊框和所述第二邊框分別連接在所述第一薄膜的兩側，且所述第一邊框和所述第二邊框上均設有卡勾；其中，所述版本體的兩側分別設有與所述第一邊框和所述第二邊框上的卡勾相適配的卡槽，所述保護膜覆于所述版本體上，并通過所述第一邊框和所述第二邊框上的卡勾與所述版本體的卡槽相互卡合。

6.根據權利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜與所述版本體之間通過螺紋連接。

7.根據權利要求6所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜至少包括：第一薄膜，第一邊框，以及第二邊框；其中，所述第一邊框和所述第二邊框相對設置，所述第一邊框和所述第二邊框分別連接在所述第一薄膜的兩側，且所述第一邊框和所述第二邊框上均具有螺紋孔；其中，所述版本體的兩側分別設有與所述第一邊框和所述第二邊框的螺紋孔相適配的螺紋孔，所述版本體分別與所述第一邊框和所述第二邊框通過所述螺紋孔進行螺紋連接，從而使所述保護膜安裝于所述版本體上。

8.根據權利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜與所述版本體之間通過鉸鏈連接。

9.根據權利要求8所述的光掩膜版，其特征在于，所述保護膜至少包括：第一薄膜，第一邊框，以及第二邊框；其中，所述第一邊框和所述第二邊框相對設置，所述第一邊框和所述第二邊框分別連接在所述第一薄膜的兩側，所述第一邊框具有連接孔，所述第二邊框上設有固定扣；其中，所述版本體的一側設有與所述第一邊框的連接孔位置相對應的連接孔，所述版本體與所述第一邊框通過所述連接孔進行鉸鏈連接，使所述保護膜可翻轉并覆于所述版本體上，且所述保護膜還通過所述固定扣固定于所述版本體上。

10.一種如權利要求1～9任一項所述的光掩膜版的制作方法，其特征在于，所述光掩膜版的制作方法至少包括如下步驟：預先確定所述光掩膜版的結構；制作與所確定的所述光掩膜版結構相匹配的所述保護膜；制作與所述保護膜結構相適配的所述版本體。

11.根據權利要求10所述的光掩膜版的制作方法，其特征在于，在制作所述保護膜的過程中，采用射出成型、電鑄、機械加工以及擠出成型方法來制作所述保護膜。