[發明專利]蒸發源加熱電導入裝置及真空蒸發鍍膜設備

在審

• 申請號: 201811424116.2
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109487218A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 陳立國;胡曉晶
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

本發明提供蒸發源加熱電導入裝置及真空蒸發鍍膜設備，該蒸發源加熱電導入裝置包括：加熱電極，所述加熱電極的一端部用于與外部電源電連接；導電調節桿，所述導電調節桿能夠設于真空蒸發鍍膜設備的真空腔體內，該導電調節桿的一端部與所述加熱電極的另一端部電連接；和導電接頭，所述導電調節桿的另一端部與所述導電接頭電連接，所述導電接頭用于與蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。這樣，可以使得蒸發源加熱電導入裝置具備較好的導電性能。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術，尤其涉及用于真空鍍膜的蒸發源加熱電導入裝置及真空蒸發鍍膜設備。

背景技術

真空蒸發鍍膜是目前比較常用的一種鍍膜工藝，其原理是在高溫真空的環境中，通過加熱裝置將蒸發源加熱到一定溫度，以在襯底上沉積形成特定的膜層，從而達到鍍膜的目的。其中，加熱裝置需要通過蒸發源加熱電導入裝置接入外部電源，從而實現對蒸發源加熱。通常，現有的蒸發源加熱電導入裝置采用柔性線路方式，而這種蒸發源加熱電導入裝置在高溫環境下的電阻率較高，導致傳導的電流較小，從而使得導電性能較差。由此，現有的蒸發源加熱電導入裝置的導電性能較差。

發明內容

本發明的目的在于提供蒸發源加熱電導入裝置及真空蒸發鍍膜設備，該蒸發源加熱電導入裝置解決了現有的蒸發源加熱電導入裝置的導電性能較差的問題。

為達上述目的，本發明提供一種蒸發源加熱電導入裝置，包括：

加熱電極，所述加熱電極的一端部用于與外部電源電連接；

導電調節桿，所述導電調節桿能夠設于真空蒸發鍍膜設備的真空腔體內，該導電調節桿的一端部與所述加熱電極的另一端部連接；和

導電接頭，所述導電調節桿的另一端部與所述導電接頭電連接，所述導電接頭用于與蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

可選的，所述導電接頭上設有容納腔、導電條安裝槽和導電條，其中：

所述容納腔與所述導電條安裝槽間隔設置；

所述容納腔內容納所述導電調節桿的另一端部，以與所述導電調節桿的另一端部電連接；

所述導電條的一端部位于所述導電條安裝槽內，用于與所述蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

可選的，所述導電接頭包括依次層疊的第一壓板，第二壓板和第三壓板；

所述第一壓板朝向所述第二壓板的表面設置有第一容納槽；

所述第二壓板朝向所述第一壓板的表面與第一容納槽的對應處設置有第二容納槽，以使所述第一容納槽和所述第二容納槽構成所述容納腔；

所述第二壓板朝向所述第三壓板的表面形成有凹槽，以在所述第二壓板和所述第三壓板之間形成所述導電條安裝槽。

可選的，所述導電條包括：

第一導電條，所述第一導電條的一端部穿設于所述導電條安裝槽中；和

第二導電條，所述第二導電條設置于所述第一導電條的另一端部上，所述第二導電條朝向所述第一導電條的表面設置有凹槽，以在所述第一導電條與所述第二導電條之間形成電源輸入端安裝槽，所述電源輸入端安裝槽用于與蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

可選的，所述加熱電極包括：

降溫結構；和

接線金屬件，所述接線金屬件的一端部設置有所述降溫結構，所述接線金屬件的另一端部與所述導電調節桿的一端部連接。

可選的，所述接線金屬件的一端部向內凹陷形成有第一腔體，所述降溫結構包括：