[發明專利]蒸發源加熱電導入裝置及真空蒸發鍍膜設備

在審

• 申請號: 201811424116.2
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109487218A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 陳立國;胡曉晶
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，包括：

加熱電極，所述加熱電極的一端部用于與外部電源電連接；

導電調節桿，所述導電調節桿能夠設于真空蒸發鍍膜設備的真空腔體內，該導電調節桿的一端部與所述加熱電極的另一端部電連接；和

導電接頭，所述導電調節桿的另一端部與所述導電接頭電連接，所述導電接頭用于與蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

2.根據權利要求1所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述導電接頭上設有容納腔、導電條安裝槽和導電條，其中：

所述容納腔與所述導電條安裝槽間隔設置；

所述容納腔容納所述導電調節桿的另一端部，以與所述導電調節桿的另一端部電連接；

所述導電條的一端部位于所述導電條安裝槽內，用于與所述蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

3.根據權利要求2所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述導電接頭包括依次層疊的第一壓板，第二壓板和第三壓板；

所述第一壓板朝向所述第二壓板的表面設置有第一容納槽；

所述第二壓板朝向所述第一壓板的表面與第一容納槽的對應處設置有第二容納槽，以使所述第一容納槽和所述第二容納槽構成所述容納腔；

所述第二壓板朝向所述第三壓板的表面形成有凹槽，以在所述第二壓板和所述第三壓板之間形成所述導電條安裝槽。

4.根據權利要求3所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述導電條包括：

第一導電條，所述第一導電條的一端部穿設于所述導電條安裝槽中；和

第二導電條，所述第二導電條設置于所述第一導電條的另一端部上，所述第二導電條朝向所述第一導電條的表面設置有凹槽，以在所述第一導電條與所述第二導電條之間形成電源輸入端安裝槽，所述電源輸入端安裝槽用于與蒸發源的加熱裝置的電源輸入端電連接。

5.根據權利要求1所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述加熱電極包括：

降溫結構；和

接線金屬件，所述降溫結構設置于所述接線金屬件的一端部，所述接線金屬件的另一端部與所述導電調節桿的一端部電連接。

6.根據權利要求5所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述接線金屬件的一端部向內凹陷形成第一腔體，所述降溫結構包括：

三通接頭，所述三通接頭設置有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口用于與進液管路連接，所述第二接口與所述第一腔體連接，所述第三接口用于與出液管路連接，所述第二接口中設有與所述第三接口相通的液管容納腔；和

冷卻管，所述冷卻管與所述第一接口連接，所述冷卻管穿過所述液管容納腔并伸入所述第一腔體中，所述冷卻管與所述液管容納腔的腔壁之間具有空隙，所述冷卻管和所述第一腔體的腔壁之間具有空隙。

7.根據權利要求6所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述冷卻管伸入所述第一腔體中的一端呈斜面狀或喇叭口狀。

8.根據權利要求6所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述接線金屬件的另一端部設置有開口，所述導電調節桿的一端部向內凹陷形成有第二腔體，所述第一腔體延伸至所述開口處，并通過所述開口連通至所述第二腔體；

所述冷卻管向所述開口的方向延伸，以使所述冷卻管位于所述第一腔體中的一端伸入所述第二腔體中。

9.根據權利要求5所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述接線金屬件的另一端部設有第一盲孔，所述導電調節桿的一端部設有第二盲孔，所述第一盲孔與所述第二盲孔連接。

10.根據權利要求9所述的蒸發源加熱電導入裝置，其特征在于，所述蒸發源加熱電導入裝置還包括：

緊固件，所述緊固件的內部設有通孔，所述緊固件通過所述通孔設于所述第一盲孔與所述第二盲孔的連接處，所述緊固件分別與所述第一盲孔的外壁和所述第二盲孔的外壁連接。