[發明專利]電子元器件測試方法、裝置、系統和存儲介質

在審

• 申請號: 201811416586.4
• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN109596914A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 賴燦雄;肖慶中;恩云飛;黃云;堯彬;路國光
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所（（工業和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室））
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 馮右明

本申請涉及一種電子元器件測試方法、裝置、系統和存儲介質。所述方法包括：在預設周期到來時，向信號采集設備發送同步信號，并接收信號采集設備基于同步信號反饋的各光信號；預設周期為用于傳輸給待測電子元器件的脈沖信號的脈沖周期；同步信號用于指示信號采集設備在相應的預設采集時長內、對待測電子元器件進行光信號采集；對各光信號進行疊加處理，并依據疊加的結果定位待測電子元器件的靜電放電通道，因此，本申請電子元器件測試方法能夠準確地采集待測電子元器件的光信號，避免了噪聲過大而導致的難于分辨有效光信號的問題，通過準確采集的光信號實現待測電子元器件的靜電放電通道的精確定位，以為改善電子元器件的設計提供測試基礎。

技術領域

本申請涉及電子元器件靜電放電測試技術領域，特別是涉及一種電子元器件測試方法、裝置、系統和存儲介質。

背景技術

傳輸線脈沖測試是指利用傳輸線產生短脈沖(50納秒至200納秒)來測量電子元器件內的ESD(Electro-Static discharge，靜電釋放)保護結構的電流-電壓特性的方法，其中，短脈沖是用來模擬作用于電子元器件的短ESD脈沖，通過使用短脈沖可以精確測量到待測樣品的電流和電壓，從而可以得到待測樣品的電流-電壓特性。

目前，傳統技術多數利用光發射顯微鏡采集傳輸線脈沖測試過程中電子元器件的光信號，利用光信號圖像對電子元器件的進行性能分析，實現電子元器件的靜電放電通道和損傷點的定位，但是，在實現過程中，發明人發現傳統技術中至少存在如下問題：傳統技術無法準確地采集電子元器件脈沖測試過程中光信號。

發明內容

基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種電子元器件測試方法、裝置、系統和存儲介質。

為了實現上述目的，一方面，本發明實施例提供了一種從TLP測試設備角度實施的電子元器件測試方法，包括以下步驟：

在預設周期到來時，向信號采集設備發送同步信號，并接收信號采集設備基于同步信號反饋的各光信號；預設周期為用于傳輸給待測電子元器件的脈沖信號的脈沖周期；同步信號用于指示信號采集設備在相應的預設采集時長內、對待測電子元器件進行光信號采集；

對各光信號進行疊加處理，并依據疊加的結果定位待測電子元器件的靜電放電通道。

在其中一個實施例中，還包括步驟：

依據疊加的結果定位待測電子元器件的損傷點。

在其中一個實施例中，接收信號采集設備基于同步信號反饋的各光信號的步驟之后，還包括步驟：

在接收到的光信號的幀數等于預設幀數時，向信號采集設備傳輸停止采集指令；停止采集指令用于指示信號采集設備停止采集光信號。

在其中一個實施例中，在接收到的光信號的幀數等于預設幀數時，向信號采集設備傳輸停止采集指令的步驟之前，還包括步驟：

獲取接收到的光信號的幀數。

另一方面，本發明實施例提供了一種從信號采集設備角度實施的電子元器件測試方法，包括以下步驟：

接收TLP測試設備在預設周期到來時傳輸的同步信號；預設周期為TLP測試設備傳輸給待測電子元器件的脈沖信號的脈沖周期；

基于同步信號，在相應的預設采集時長內、對待測電子元器件進行光信號采集；

將采集到的各光信號傳輸給TLP測試設備。

又一方面，本申請實施例還提供了一種從TLP測試設備角度實施的電子元器件測試裝置，包括：