[發(fā)明專利]一種監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811410181.X | 申請(qǐng)日： | 2018-11-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109541140A | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 呂偉偉;裴雷洪;嚴(yán)駿;石慶球 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N33/00 | 分類號(hào)： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 緩沖腔體 等離子氮化 緩沖腔 去耦合 腔體 氧氣 傳感器 體內(nèi) 摻氮 機(jī)械手臂 監(jiān)測(cè) 產(chǎn)品缺陷 傳送器件 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 混入 | ||
1.一種監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，其中包括：
一緩沖腔體，所述緩沖腔體內(nèi)設(shè)有一機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂用于傳送器件；
一去耦合等離子氮化腔體，所述去耦合等離子氮化腔體與所述緩沖腔體連接，所述去耦合等離子氮化腔體用于對(duì)所述器件進(jìn)行摻氮工藝；
一傳感器，所述傳感器與所述緩沖腔體連接，用于監(jiān)測(cè)所述緩沖腔體內(nèi)的氧氣濃度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述傳感器包括氧氣分析儀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述傳感器通過一排氣管路與所述緩沖腔體連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述機(jī)械手臂與一人機(jī)交互界面連接，所述人機(jī)交互界面用于控制所述機(jī)械手臂。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述傳感器與所述人機(jī)交互界面連接，所述人機(jī)交互界面用于顯示所述緩沖腔體內(nèi)氧氣濃度的具體數(shù)值。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述緩沖腔體與一原位水汽生成設(shè)備連接，所述原位水汽生成設(shè)備用于進(jìn)行低壓快速熱氧化退火工藝。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述緩沖腔體與一等離子氮化退火腔體連接，所述等離子氮化退火腔體用于進(jìn)行快速回火工藝。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述緩沖腔體與一第一真空大氣交換裝置和一第二真空大氣交換裝置連接，所述第一真空大氣交換裝置與第二真空大氣交換裝置用于給所述緩沖腔體抽真空并維持所述緩沖腔體內(nèi)的真空。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的監(jiān)測(cè)緩沖腔體氧氣濃度的裝置，其特征在于，所述排氣管路的一端與所述緩沖腔體連接，所述排氣管路的另一端與一廠務(wù)工藝排風(fēng)裝置連接。
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