[發明專利]一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機

在審

• 申請號: 201811409568.3
• 申請日: 2018-11-23
• 公開（公告）號: CN109539689A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 張旺
• 申請（專利權）人: 江蘇科林泰電子有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D17/04;F25D17/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，涉及硅片清洗技術領域，該帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，包括硅片清洗機本體和下料臺，硅片清洗機本體的一側中部固定連接有固定板，固定板的上表面遠離硅片清洗機本體的一端固定連接有傳動裝置，固定板的一端開設有通風孔，通風孔內設置有多個導向板，導向板的頂端設置有聯動桿，傳動裝置的內部設置有減速電機，減速電機的正面中部設置有旋轉桿，旋轉桿的一端與減速電機的轉軸固定連接，旋轉桿的另一端固定連接有滑塊，滑塊上設置有滑動桿。該帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，能夠對導向板傾斜的方向進行改變，擴大冷風吹拂的面積，增強了冷卻效果。

技術領域

本發明涉及硅片清洗技術領域，具體為一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機。

背景技術

硅片在切割完成后需要經過脫膠、清洗。硅片在清洗機內清洗過后還有通過熱風進行烘干。目前硅片清洗機烘干出來的硅片溫度在60～70℃，溫度過高會影響分選機對硅片的檢測準確性。原有的解決方案是通過放置一段時間待硅片溫度降低到30℃左右的時候，再上分選機進行分選。這樣就造成了加工時間的延長，影響了生產效率。

在中國發明專利申請公開說明書CN 205980721 U中公開的一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機，雖然，該硅片清洗機使烘干后的硅片在下料臺輸送過程中在冷風通道內快速冷卻，從60～70℃快速冷卻到30℃左右，就可以直接上分選機進行分選，大大減少了冷卻時間，提高了工作效率，但是，該硅片清洗機的導向板傾斜方向固定，不能自動轉向，降低了冷卻效果。

目前，現有的硅片清洗機使用不便，不利于推廣使用。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，解決了現有的硅片清洗機的導向板傾斜方向固定，冷卻效果低的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案予以實現：

一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，包括硅片清洗機本體和下料臺，所述下料臺設置于硅片清洗機本體的一側底端，所述下料臺與硅片清洗機本體固定連接，所述硅片清洗機本體的上表面一端固定連接有冷氣機，所述冷氣機的一側底端設置有通風管，所述硅片清洗機本體的一側中部固定連接有固定板，所述固定板的上表面遠離硅片清洗機本體的一端固定連接有傳動裝置；

所述固定板的一端開設有通風孔，所述通風孔內設置有多個導向板，所述導向板的頂端設置有聯動桿，所述聯動桿的一端通過銷軸活動連接連桿的一端，所述連桿的另一端通過銷軸活動連接L型桿的一端，所述L型桿的另一端貫穿至固定板的外部，所述L型桿的另一端固定連接有傳動桿；

所述傳動裝置的內部設置有減速電機，所述減速電機的正面中部設置有旋轉桿，所述旋轉桿的一端與減速電機的轉軸固定連接，所述旋轉桿的另一端固定連接有滑塊，所述滑塊上設置有滑動桿；

所述滑動桿的頂端和底端均固定連接有限位塊，所述限位塊的中部設置有限位桿。

可選的，所述通風管的頂端與冷氣機連通，所述通風管的底端與通風孔連通。

可選的，多個所述導向板呈等間距平行分布；

多個所述導向板的底端均通過銷軸與通風孔的內壁活動連接，多個所述導向板的頂端均通過銷軸與聯動桿活動連接。

可選的，所述傳動桿的一端貫穿至傳動裝置的內部，所述傳動桿的一端與滑動桿固定連接；

所述傳動桿與傳動裝置滑動連接。

可選的，所述減速電機的底端固定連接有固定座，所述固定座的底端與傳動裝置的內底壁固定連接。

可選的，所述滑動桿靠近滑塊的一側開設有滑槽；