[發明專利]一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機

在審

• 申請號: 201811409568.3
• 申請日: 2018-11-23
• 公開（公告）號: CN109539689A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 張旺
• 申請（專利權）人: 江蘇科林泰電子有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D17/04;F25D17/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，包括硅片清洗機本體(1)和下料臺(2)，其特征在于：所述下料臺(2)設置于硅片清洗機本體(1)的一側底端，所述下料臺(2)與硅片清洗機本體(1)固定連接，所述硅片清洗機本體(1)的上表面一端固定連接有冷氣機(3)，所述冷氣機(3)的一側底端設置有通風管(4)，所述硅片清洗機本體(1)的一側中部固定連接有固定板(5)，所述固定板(5)的上表面遠離硅片清洗機本體(1)的一端固定連接有傳動裝置(6)；

所述固定板(5)的一端開設有通風孔(7)，所述通風孔(7)內設置有多個導向板(8)，所述導向板(8)的頂端設置有聯動桿(9)，所述聯動桿(9)的一端通過銷軸活動連接連桿(10)的一端，所述連桿(10)的另一端通過銷軸活動連接L型桿(11)的一端，所述L型桿(11)的另一端貫穿至固定板(5)的外部，所述L型桿(11)的另一端固定連接有傳動桿(12)；

所述傳動裝置(6)的內部設置有減速電機(13)，所述減速電機(13)的正面中部設置有旋轉桿(14)，所述旋轉桿(14)的一端與減速電機(13)的轉軸固定連接，所述旋轉桿(14)的另一端固定連接有滑塊(15)，所述滑塊(15)上設置有滑動桿(16)；

所述滑動桿(16)的頂端和底端均固定連接有限位塊(18)，所述限位塊(18)的中部設置有限位桿(19)。

2.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

所述通風管(4)的頂端與冷氣機(3)連通，所述通風管(4)的底端與通風孔(7)連通。

3.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

多個所述導向板(8)呈等間距平行分布；

多個所述導向板(8)的底端均通過銷軸與通風孔(7)的內壁活動連接，多個所述導向板(8)的頂端均通過銷軸與聯動桿(9)活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

所述傳動桿(12)的一端貫穿至傳動裝置(6)的內部，所述傳動桿(12)的一端與滑動桿(16)固定連接；

所述傳動桿(12)與傳動裝置(6)滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

所述減速電機(13)的底端固定連接有固定座，所述固定座的底端與傳動裝置(6)的內底壁固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

所述滑動桿(16)靠近滑塊(15)的一側開設有滑槽(17)；

所述滑塊(15)與滑槽(17)滑動連接。

7.根據權利要求1所述的一種帶有冷卻裝置的全自動硅片清洗機，其特征在于：

所述限位桿(19)的兩端均貫穿限位塊(18)并與傳動裝置(6)的內側壁固定連接；

所述限位塊(18)與限位桿(19)滑動連接。