[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物及應(yīng)用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811408901.9 | 申請日: | 2018-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN111221215A | 公開(公告)日: | 2020-06-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 胡春青;金曉蓓 | 申請(專利權(quán))人: | 常州強(qiáng)力先端電子材料有限公司;常州強(qiáng)力電子新材料股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人: | 韓建偉;金田蘊(yùn) |
| 地址: | 213159 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 感光性 樹脂 組合 應(yīng)用 | ||
1.一種感光性樹脂組合物,其特征在于,包含:粘結(jié)劑聚合物、光聚合單體、光引發(fā)劑和光敏劑,所述光敏劑包含選自通式(Ⅰ)、通式(Ⅱ)、通式(Ⅲ)或通式(Ⅳ)所示的叔胺衍生物中一種或多種;
其中,R1為氫或者C1-C20的直鏈或支鏈烷基;
R2和R5分別獨(dú)立的代表甲基、芐基、五氟代芐基、4-氰基芐基、4-硝基芐基、4-三氟甲基芐基或3,5-二-(三氟甲基)芐基中任一種;
R3為氫或者甲基或者不同碳原子個數(shù)的柔性鏈;
R4為氫、C1-C20的直鏈或支鏈烷基或C1-C20的烯烴基;
n=0~2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述粘結(jié)劑聚合物選自由(甲基)丙烯酸系聚合物、(甲基)丙烯酸酯系聚合物、苯乙烯系聚合物、環(huán)氧系聚合物、脂肪族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物、芳香族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物組成的組中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述粘結(jié)劑聚合物的重均分子量為7000~150000,酸值為30~500mgKOH/g;
優(yōu)選的,所述粘結(jié)劑聚合物的重均分子量為30000~120000,酸值為100~400mgKOH/g。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述粘結(jié)劑聚合物為含羧基聚合物;
優(yōu)選的,所述粘結(jié)劑聚合物由(甲基)丙烯酸酯、乙烯性不飽和羧酸和其他可共聚單體共聚而成的(甲基)丙烯酸酯系聚合物;
優(yōu)選的,所述(甲基)丙烯酸酯選自由(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸二乙胺基乙酯、(甲基)丙烯酸酯二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、(甲基)丙烯酸糠基酯和(甲基)丙烯酸縮水甘油酯組成的組中的一種或多種;
優(yōu)選的,所述乙烯性不飽和羧酸選自由丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、馬來酸、富馬酸和衣康酸組成的組中的一種或多種,更優(yōu)選為丙烯酸和/或甲基丙烯酸;
優(yōu)選的,所述其他可共聚單體選自由(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯、乙烯基萘、(甲基)丙烯腈、乙酸乙烯基酯和乙烯基環(huán)己烷組成的組中的一種或多種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述光聚合單體選自由具有一個聚合性不飽和官能團(tuán)的單體、具有兩個聚合性不飽和官能團(tuán)的單體和具有三個或三個以上的聚合性不飽和官能團(tuán)的單體組成的組中的一種或多種;
優(yōu)選的,所述具有一個聚合性不飽和官能團(tuán)的單體選自由(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、乙氧基化壬基酚(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯和聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯組成的組中的一種或多種;
所述具有兩個聚合性不飽和官能團(tuán)的單體選自由三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇聚丙烯醚二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化聚四氫呋喃二醇二(甲基)丙烯酸酯和乙氧基化聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯組成的組中的一種或多種;
所述具有三個或三個以上的聚合性不飽和官能團(tuán)的單體選自由三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯組成的組中的一種或多種。
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G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
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