[發明專利]一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝在審
| 申請號： | 201811399995.8 | 申請日： | 2018-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN109722548A | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 陳建國;聶玉 | 申請（專利權）人： | 衡陽恒榮高純半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C22B9/02 | 分類號： | C22B9/02;C22B41/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 421001 湖南省衡*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍺錠 烘干 生產新工藝 合格率 石英管 石英舟 蒸餾水 不銹鋼鑷子 測試樣本 電學性能 高溫處理 過程區域 王水 烘干機 混合液 熔煉 夾持 濾紙 水漬 吸干 蒸煮 生產工藝 浸泡 取出 清潔 | ||
1.一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于，包括如下步驟：
(1)將石英管和石英舟放置在清潔混合液中浸泡，然后用王水蒸煮，用不銹鋼鑷子夾持濾紙吸干石英管和石英舟上的水漬以后放進烘干機內烘干，烘干后取出，進行高溫處理，再用蒸餾水煮后烘干即可；
(2)將鍺錠放置在氫氣容器內，利用電阻爐熔融鍺錠，使其形狀規則，大小均勻；
(3)將熔好的鍺錠先腐蝕，然后放入石英舟中，再將石英舟放入石英管內；
(4)利用前級抽氣機對石英管內抽真空，使管內形成真空環境，再利用油擴散泵進一步對石英管內抽氣，使真空效果更加，用檢漏計檢查管內的真空度；
(5)在石英管外設置高頻爐，開高頻爐對管內鍺錠進行區熔；
(6)待鍺錠首端熔化后，穩定的拖動石英管使鍺錠的不同位置均可以得到區域熔化；
(7)這樣往復拖動，重復區域熔化數十遍后，鍺錠區熔完成；
(8)測量提純后的樣品參數，并清洗石英管和石英舟。
2.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：在步驟(2)中，再將鍺錠放入容器前，先讓氫氣氣流以較大的流量沖刷系統20分鐘-1小時，然后以每秒鐘一個氣泡的穩定速度流過系統。
3.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述步驟(2)中，熔化溫度保持在1000℃-1100℃，熔化時間為20-25分鐘。
4.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述步驟(1)中的清潔混合液由HNO3、HF和H2O組成，所述HNO3：HF：H2O的質量份數比為4：3：3，所述烘干后的高溫處理溫度為1400℃-1500℃。
5.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述石英管其尾部高于頭部傾斜放置。
6.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述步驟(3)中溶化后的鍺錠利用CP4腐蝕。
7.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述鍺錠首端初熔不易感應，采用汽油吹燈預熱。
8.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：所述步驟(4)中，前級抽氣機抽氣將真空度達到10-2mmHg以上，油擴散泵使真空度達到10-4mmHg。
9.根據權利要求1所述的一種提高區熔鍺錠合格率生產新工藝，其特征在于：在抽真空后，保持真空度20分鐘-25分鐘，開始對錠首加熱。
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