[發明專利]一種銻化鎵單晶片上下表面打磨設備

在審

• 申請號: 201811394223.5
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN109434591A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 王歆;吳秀麗;陳琳
• 申請（專利權）人: 湖南大合新材料有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B27/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B7/07
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 曾志鵬

1.一種銻化鎵單晶片上下表面打磨設備，其特征在于，它包括底座(21)，其上端設置有支撐架(17)，支撐架(17)的上端設置有頂梁(9)，頂梁(9)的底部設置有第一直線導軌(8)，第一直線導軌(8)上安裝有滑鞍(10)，滑鞍(10)的左端設置有銻化鎵單晶片表面打磨機構；滑鞍(10)的右端與橫向推進機構連接，實現左右移動；銻化鎵單晶片表面打磨機構包括第一電機(7)、與第一電機(7)輸出軸相連的轉軸(5)、設置在轉軸(5)末端的打磨盤(4)；支撐架(17)的左側設置有第二直線導軌(18)，第二直線導軌(18)上安裝有升降座(16)，升降座(16)與升降機構連接實現上下升降，升降座(16)上設置有第二電機(1)，第二電機(1)的輸出軸連接真空吸盤(2)，銻化鎵單晶片(3)安裝在真空吸盤(2)上，打磨盤(4)設置在銻化鎵單晶片(3)的正上方。

2.根據權利要求1所述的一種銻化鎵單晶片上下表面打磨設備，其特征在于，升降機構包括滾珠絲桿(15)和第三電機(19)，滾珠絲桿(15)與第三電機(19)的輸出軸連接，滾珠絲桿(15)的螺母與升降座(16)固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種銻化鎵單晶片上下表面打磨設備，其特征在于，橫向推進機構包括設置在滑鞍(10)的右端的齒條(11)，齒條(11)穿過支撐架(17)上的通孔(12)后與第四電機(13)輸出軸上的齒輪(20)相互嚙合，第四電機(13)安裝在頂梁(9)右側的固定架(14)上。

4.根據權利要求1所述的一種銻化鎵單晶片上下表面打磨設備，其特征在于，銻化鎵單晶片表面打磨機構的外側設置有保護罩(6)。