[發(fā)明專利]一種不需放置治具去除QFN細(xì)微毛邊的蝕刻滾桶槽機(jī)臺(tái)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811393246.4 | 申請(qǐng)日: | 2018-11-21 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109300822A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-02-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳瀅如;簡(jiǎn)健哲 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 安徽宏實(shí)自動(dòng)化裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡劍輝 |
| 地址: | 230001 安徽省合*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 外箱體 外桶 內(nèi)桶體 微蝕刻 隔板 機(jī)臺(tái) 蝕刻 去毛邊 分隔 滾桶 毛邊 去除 治具 連通 電機(jī) 排水管 電機(jī)驅(qū)動(dòng) 固定治具 均勻開(kāi)設(shè) 溶液流動(dòng) 旋轉(zhuǎn)帶動(dòng) 出水閥 進(jìn)水閥 體內(nèi)部 圓軸桿 攪動(dòng) 側(cè)壁 熱管 外壁 網(wǎng)孔 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了一種不需放置治具去除QFN細(xì)微毛邊的蝕刻滾桶槽機(jī)臺(tái),包括外箱體,所述外箱體的內(nèi)部通過(guò)隔板分隔有外桶倉(cāng),所述外桶倉(cāng)的底部均勻分布有加熱管,所述外箱體的頂部固定有與外桶倉(cāng)連通的進(jìn)水閥,所述外箱體的底部通過(guò)排水管與固定在外箱體側(cè)壁的出水閥連通,所述外箱體的內(nèi)底固定有電機(jī)。本發(fā)明中,在外箱體的內(nèi)部通過(guò)隔板分隔有外桶倉(cāng),在外箱體的底部固定有電機(jī),然后電機(jī)驅(qū)動(dòng)圓軸桿旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)內(nèi)桶體旋轉(zhuǎn),而內(nèi)桶體的外壁均勻開(kāi)設(shè)有網(wǎng)孔,這樣用戶可將IC放置在內(nèi)桶體內(nèi)部通過(guò)內(nèi)桶體攪動(dòng)微蝕刻溶液對(duì)IC進(jìn)行微蝕刻,相比與傳統(tǒng)去毛邊方式,該裝置不需要固定治具,微蝕刻溶液流動(dòng)均勻,去毛邊效果好。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及封裝制程設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種不需放置治具去除QFN細(xì)微毛邊的蝕刻滾桶槽機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)
QFN(四方平面無(wú)引腳封裝),在現(xiàn)今電子業(yè)界的IC封裝當(dāng)中,有越來(lái)越普遍的趨勢(shì),QFN的優(yōu)點(diǎn)是體積小,足以媲美CSP封裝而且成本便宜,良率高,還能為高速和電源管理電路提供較佳的共面性以及散熱能力等優(yōu)點(diǎn)。QFN封裝不必從四側(cè)引出接腳,因此電氣效能更勝引線封裝必須從側(cè)面引出多接腳的SO等傳統(tǒng)封裝IC。為求極致化縮小體積,金屬導(dǎo)線腳位之間過(guò)于靠近,沖壓切腳拉伸細(xì)微毛邊,立即接觸短路造成不良品。現(xiàn)行對(duì)策,是利用化學(xué)微蝕刻輕易去除金屬細(xì)微毛邊。
現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn),在于IC必須先轉(zhuǎn)置耐蝕刻的高精密不銹鋼乘載治具。此成本高,且精準(zhǔn)控制IC與放置穴四周間隙剛好0.4mm有困難。制程實(shí)務(wù)上,若是間隙過(guò)小,化學(xué)蝕刻液體無(wú)法完整平均流入四周間隙,這會(huì)造成蝕刻失敗;相反間隙過(guò)大,IC直接掉出來(lái)或飄動(dòng)卡邊角,這就無(wú)法連續(xù)作業(yè)而宕機(jī)的損失。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述的技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明的目的在于提供一種不需放置治具去除QFN細(xì)微毛邊的蝕刻滾桶槽機(jī)臺(tái),在外箱體的內(nèi)部通過(guò)隔板分隔有外桶倉(cāng),在外箱體的底部固定有電機(jī),然后電機(jī)驅(qū)動(dòng)圓軸桿旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)內(nèi)桶體旋轉(zhuǎn),而內(nèi)桶體的外壁均勻開(kāi)設(shè)有網(wǎng)孔,這樣用戶可將IC放置在內(nèi)桶體內(nèi)部通過(guò)內(nèi)桶體攪動(dòng)微蝕刻溶液對(duì)IC進(jìn)行微蝕刻,相比與傳統(tǒng)去毛邊方式,該裝置不需要固定治具,微蝕刻溶液流動(dòng)均勻,去毛邊效果好,在內(nèi)桶體的內(nèi)部通過(guò)軸承座活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架,利用轉(zhuǎn)動(dòng)架的自身重力特點(diǎn),使得支撐框處于內(nèi)桶體的微蝕刻化學(xué)溶液所在位置處,這樣方便操作人員對(duì)已經(jīng)的加工好的IC進(jìn)行快速回收,承載筐的上端通過(guò)橫桿固定有把手,在把手的底部通限位桿滑動(dòng)套接有L型拉桿,且L型拉桿的底部連接有對(duì)承載筐底部出料口進(jìn)行封擋的擋板,操作人員通過(guò)握持把手即可帶動(dòng)擋板進(jìn)行上下移動(dòng)便于對(duì)處理好的IC進(jìn)行快速回收。
本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種不需放置治具去除QFN細(xì)微毛邊的蝕刻滾桶槽機(jī)臺(tái),包括外箱體,所述外箱體的內(nèi)部通過(guò)隔板分隔有外桶倉(cāng),所述外桶倉(cāng)的底部均勻分布有加熱管,所述外箱體的頂部固定有與外桶倉(cāng)連通的進(jìn)水閥,所述外箱體的底部通過(guò)排水管與固定在外箱體側(cè)壁的出水閥連通,所述外箱體的內(nèi)底固定有電機(jī),所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)軸傳動(dòng)連接有主動(dòng)帶輪,所述外箱體的背部通過(guò)軸承活動(dòng)連接有貫穿并延伸至外桶倉(cāng)內(nèi)部的圓軸桿,所述圓軸桿介于外箱體與隔板之間卡接固定有從動(dòng)帶輪,所述主動(dòng)帶輪通過(guò)皮帶與從動(dòng)帶輪傳動(dòng)連接,所述圓軸桿位于外桶倉(cāng)內(nèi)的端部焊接有內(nèi)桶體,所述內(nèi)桶體的側(cè)壁均勻開(kāi)設(shè)有網(wǎng)孔,所述內(nèi)桶體的內(nèi)底中心位置處通過(guò)軸承座活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架,所述轉(zhuǎn)動(dòng)架包括與軸承座活動(dòng)連接的L型軸桿,所述L型軸桿的底部焊接有支撐框,所述支撐框的內(nèi)部卡接有承載筐,所述承載筐包括框架,所述框架的底部左右兩側(cè)均焊接有側(cè)板,兩個(gè)所述側(cè)板之間焊接有與框架前后側(cè)內(nèi)底連接的篩網(wǎng),其中,一個(gè)側(cè)板底邊與篩網(wǎng)之間開(kāi)設(shè)有出料口,所述框架的上部焊接有橫桿,所述橫桿上端面中心位置處焊接有把手,所述把手的底部焊接有一對(duì)限位桿,所述一對(duì)限位桿的外部滑動(dòng)套接有L型拉桿,所述L型拉桿的底部焊接有用于封擋出料口的擋板。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:所述內(nèi)桶體的截面為水平放置的“凸”字形結(jié)構(gòu),其中,內(nèi)桶體的入料口內(nèi)徑大于承載筐的豎直截面。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:所述內(nèi)桶體的軸線與圓軸桿的軸線重合。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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