[發明專利]探針卡裝置及其調節式探針

有效

• 申請號: 201811391340.6
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN111208327B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 李文聰;謝開杰;曾照暉;王憲瑜
• 申請（專利權）人: 臺灣中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

本發明公開一種探針卡裝置及其調節式探針。探針卡裝置包含間隔設置的上導板單元與下導板單元、夾持于上導板單元與下導板單元的間隔板、阻抗調節件、及多個導電探針。上導板單元包含彼此間隔設置的第一導板與第二導板，第一導板形成貫孔，第二導板形成線路層。阻抗調節件設置于第二導板、并電性耦接于線路層。每個導電探針穿過上導板單元、間隔板、及下導板單元。至少一個所述導電探針定義為調節式探針，其包含有穿出上導板單元的上接觸段及相連于上接觸段的延伸臂。延伸臂穿過貫孔、并抵接于線路層，以使調節式探針電性連接于阻抗調節件。據此，調節式探針能通過延伸臂來與阻抗調節件進行電性耦接，進而達到降低電源阻抗的效果。

技術領域

本發明涉及一種測試裝置，特別涉及一種探針卡裝置及其調節式探針。

背景技術

由于待測物(如：半導體晶片)的操作速度愈來愈高，所以上述待測物在進行測試的過程中，也須檢測待測物是否具備高頻(或高速)傳輸的功能。然而，現有探針卡裝置所包含的每個探針皆呈細長狀，導致電感量增加而衍生電源阻抗的問題，使其不利于所述待測物的高速傳輸功能的測試。

于是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學原理的運用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。

發明內容

本發明實施例在于提供一種探針卡裝置及其調節式探針，能有效地改善現有探針卡裝置(或探針)所可能產生的缺陷。

本發明實施例公開一種探針卡裝置，包括：一上導板單元，包含有彼此間隔設置的一第一導板與一第二導板，所述第一導板形成有至少一個貫孔，所述第二導板形成有一線路層；一阻抗調節件，設置于所述第二導板，并且所述阻抗調節件電性耦接于所述線路層；一下導板單元，間隔地位于所述第二導板遠離所述第一導板的一側，并且所述下導板單元與所述第二導板之間的距離大于所述第一導板與所述第二導板之間的距離；一間隔板，夾持于所述上導板單元的所述第二導板與所述下導板單元之間；多個導電探針，穿過所述上導板單元、所述間隔板、及所述下導板單元，并且每個所述導電探針包含有分別位于所述上導板單元與所述下導板單元彼此相反兩外側的一上接觸段及一下接觸段；其中，多個所述導電探針的至少一個所述導電探針定義為至少一個調節式探針，并且至少一個所述調節式探針包含有相連于其所述上接觸段的一延伸臂；所述延伸臂穿過至少一個所述貫孔、并抵接于所述線路層，以使至少一個所述調節式探針電性連接于所述阻抗調節件。

優選地，所述第二導板包含有位于相反側的一內板面與一外板面，所述外板面是面向所述第一導板，并且所述阻抗調節件固定于所述外板面。

優選地，所述線路層設置于所述外板面，至少部分所述阻抗調節件位于所述第一導板的至少一個所述貫孔內。

優選地，所述第二導板包含有位于相反側的一內板面與一外板面，所述內板面是面向所述下導板單元，并且所述阻抗調節件固定于所述內板面，所述阻抗調節件位于所述間隔板所包圍的一空間內。

優選地，所述線路層包含有：一內側線路，位于所述內板面，并且所述阻抗調節件固定于所述內側線路上；一外側線路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外側線路上；一導電柱，埋置于所述第二導板，并且所述導電柱的兩端分別連接所述內側線路與所述外側線路。

優選地，所述延伸臂呈L形，并且所述延伸臂的自由端形成一導引斜面，所述導引斜面與所述線路層相夾有一銳角；其中，當至少一個所述調節式探針的所述上接觸段受壓迫時，所述延伸臂向外側彈性地形變并保持抵接于所述線路層，而所述銳角的角度逐漸地縮小。

優選地，于至少一個所述調節式探針中，所述上接觸段具有一外徑，所述延伸臂所相連的所述上接觸段的部位是與所述上接觸段的末端緣相隔有一距離，而所述距離不小于所述外徑。