[發明專利]探針卡裝置及其調節式探針

有效

• 申請號: 201811391340.6
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN111208327B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 李文聰;謝開杰;曾照暉;王憲瑜
• 申請（專利權）人: 臺灣中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種探針卡裝置，其特征在于，所述探針卡裝置包括：

一上導板單元，包含有彼此間隔設置的一第一導板與一第二導板，所述第一導板形成有至少一個貫孔，所述第二導板形成有一線路層；

一阻抗調節件，設置于所述第二導板，并且所述阻抗調節件電性耦接于所述線路層；

一下導板單元，間隔地位于所述第二導板遠離所述第一導板的一側，并且所述下導板單元與所述第二導板之間的距離大于所述第一導板與所述第二導板之間的距離；

一間隔板，夾持于所述上導板單元的所述第二導板與所述下導板單元之間；以及

多個導電探針，穿過所述上導板單元、所述間隔板、及所述下導板單元，并且每個所述導電探針包含有分別位于所述上導板單元與所述下導板單元彼此相反兩外側的一上接觸段及一下接觸段；

其中，多個所述導電探針的至少一個所述導電探針定義為至少一個調節式探針，并且至少一個所述調節式探針包含有相連于其所述上接觸段的一延伸臂；所述延伸臂穿過至少一個所述貫孔、并抵接于所述線路層，以使至少一個所述調節式探針電性連接于所述阻抗調節件。

2.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述第二導板包含有位于相反側的一內板面與一外板面，所述外板面是面向所述第一導板，并且所述阻抗調節件固定于所述外板面。

3.依據權利要求2所述的探針卡裝置，其特征在于，所述線路層設置于所述外板面，至少部分所述阻抗調節件位于所述第一導板的至少一個所述貫孔內。

4.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述第二導板包含有位于相反側的一內板面與一外板面，所述內板面是面向所述下導板單元，并且所述阻抗調節件固定于所述內板面，所述阻抗調節件位于所述間隔板所包圍的一空間內。

5.依據權利要求4所述的探針卡裝置，其特征在于，所述線路層包含有：

一內側線路，位于所述內板面，并且所述阻抗調節件固定于所述內側線路上；

一外側線路，位于所述外板面，并且所述延伸臂抵接于所述外側線路上；及

一導電柱，埋置于所述第二導板，并且所述導電柱的兩端分別連接所述內側線路與所述外側線路。

6.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述延伸臂呈L形，并且所述延伸臂的自由端形成一導引斜面，所述導引斜面與所述線路層相夾有一銳角；其中，當至少一個所述調節式探針的所述上接觸段受壓迫時，所述延伸臂向外側彈性地形變并保持抵接于所述線路層，而所述銳角的角度逐漸地縮小。

7.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，于至少一個所述調節式探針中，所述上接觸段具有一外徑，所述延伸臂所相連的所述上接觸段的部位是與所述上接觸段的末端緣相隔有一距離，而所述距離不小于所述外徑。

8.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，多個所述導電探針中的至少一個所述調節式探針數量為多個，并且多個所述調節式探針排成一列，所述第一導板的至少一個所述貫孔數量為多個，多個所述調節式探針的所述延伸臂分別穿過多個所述貫孔、并抵接于所述線路層，以使多個所述調節式探針及所述阻抗調節件通過所述線路層而彼此電性耦接。

9.依據權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述上導板單元包含有夾持于所述第一導板與所述第二導板之間的一支撐板，所述探針卡裝置包括有一轉接板，并且所述轉接板抵接固定于多個所述導電探針的所述下接觸段，而多個所述導電探針的所述上接觸段用來彈性地且可分離地頂抵于一待測物。

10.一種探針卡裝置的調節式探針，其特征在于，所述探針卡裝置的調節式探針包括：

一針體，呈長條狀且具有一外徑，所述針體包含有分別位于相反兩端部的上接觸段及一下接觸段；其中，所述下接觸段用來固定于一轉接板，而所述上接觸段用來彈性地且可分離地頂抵于一待測物；以及

一延伸臂，自所述上接觸段側緣朝向所述下接觸段方向彎曲地延伸所形成，并且所述延伸臂所相連的所述上接觸段的部位是與所述上接觸段的末端緣相隔有一距離，而所述距離不小于所述外徑。