[發(fā)明專利]氣體傳輸系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811384486.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-11-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111197698A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F17D1/04 | 分類號(hào)： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁禮君;闞梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 傳輸 系統(tǒng) | ||
1.一種氣體傳輸系統(tǒng)，包括：氣體箱，具有儲(chǔ)存氣體的多個(gè)儲(chǔ)氣室；多個(gè)腔室；氣體傳輸管，一端與多個(gè)所述儲(chǔ)氣室連接，另一端與多個(gè)所述腔室連接，所述氣體傳輸系統(tǒng)特征在于，
所述氣體傳輸管包括：
多個(gè)第一氣體傳輸管，多個(gè)所述第一氣體傳輸管的一端與多個(gè)所述儲(chǔ)氣室一一對(duì)應(yīng)地連接；
第二氣體傳輸管，所述第二氣體傳輸管的一端與多個(gè)所述第一氣體傳輸管的另一端連接，所述第二氣體傳輸管的另一端與多個(gè)所述腔室連接，
所述第二氣體傳輸管的至少一部分的內(nèi)徑比所述第一氣體傳輸管的內(nèi)徑大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第二氣體傳輸管的第一長(zhǎng)度比第二長(zhǎng)度長(zhǎng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第二氣體傳輸管形成為螺旋形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第二氣體傳輸管包括：
氣體混合管，所述氣體混合管的一端與多個(gè)所述第一氣體傳輸管的另一端連接；
多個(gè)氣體分配管，多個(gè)所述氣體分配管的每一個(gè)所述氣體分配管的一端與所述氣體混合管的另一端連接，每一個(gè)所述氣體分配管的另一端與多個(gè)所述腔室一一對(duì)應(yīng)地連接，
所述氣體混合管的內(nèi)徑比所述第一氣體傳輸管的內(nèi)徑和多個(gè)所述氣體分配管的內(nèi)徑大。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述氣體混合管的第三長(zhǎng)度比第四長(zhǎng)度長(zhǎng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述氣體混合管形成為螺旋形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述氣體混合管包括：
第一氣體混合管，所述第一氣體混合管的兩端封閉，所述第一氣體混合管的一側(cè)與多個(gè)所述第一傳輸管連接；
第二氣體混合管，所述第二氣體混合管的一端與所述第一氣體混合管的另一側(cè)連接，另一端與多個(gè)所述氣體分配管連接，
在所述第一氣體混合管和所述第二氣體混合管中，至少一個(gè)氣體混合管的內(nèi)徑比所述第一氣體傳輸管的內(nèi)徑和多個(gè)所述氣體分配管的內(nèi)徑大。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第一氣體混合管的內(nèi)徑和所述第二氣體混合管的內(nèi)徑均比所述第一氣體傳輸管的內(nèi)徑和多個(gè)所述氣體分配管的內(nèi)徑大。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第二氣體混合管的第五長(zhǎng)度比第六長(zhǎng)度長(zhǎng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
所述第二氣體混合管形成為螺旋形狀。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
多個(gè)所述第一氣體傳輸管的內(nèi)徑根據(jù)儲(chǔ)存在多個(gè)所述儲(chǔ)氣室的氣體的密度而設(shè)置為彼此不同。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
儲(chǔ)存在多個(gè)所述儲(chǔ)氣室的氣體的密度越大，對(duì)應(yīng)連接的第一氣體傳輸管的內(nèi)徑越大。
13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于，
在多個(gè)所述氣體分配器中的至少一個(gè)氣體分配器中設(shè)置有限流孔。
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