[發(fā)明專利]檢測(cè)缺陷的方法和用于執(zhí)行該方法的設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811383582.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN109839391A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋弦昔;姜仁勇;樸鐘主
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N23/00
• 分類號(hào): G01N23/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 趙南;張青

1.一種檢測(cè)缺陷的方法，所述方法包括：

使用第一電子束來(lái)初步掃描襯底的區(qū)域；

檢測(cè)第一缺陷；

使用第二電子束來(lái)二次掃描襯底的第一剩余區(qū)域；以及

檢測(cè)第二缺陷，其中，所述襯底的所述第一剩余區(qū)域是通過(guò)從所述襯底的所述區(qū)域排除所述第一缺陷所位于的第一部分來(lái)定義的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，檢測(cè)所述第一缺陷包括：

使用第一電子束來(lái)初步掃描所述襯底的所述區(qū)域以獲得第一圖像；以及

將第一缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述第一圖像以檢測(cè)所述第一缺陷。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，檢測(cè)所述第一缺陷包括：

測(cè)量第一圖像與不包括缺陷的正常襯底的參考圖像之間的電壓差；以及

將所述第一缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述電壓差。

4.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，檢測(cè)所述第二缺陷包括：

使用第二電子束來(lái)二次掃描所述襯底的所述第一剩余區(qū)域；

獲得第二圖像；以及

將第二缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述第二圖像以便檢測(cè)所述第二缺陷，其中，所述第二缺陷檢測(cè)靈敏度高于所述第一缺陷檢測(cè)靈敏度，并且其中，第二缺陷的大小小于所述第一缺陷的大小。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，獲得所述第二圖像包括：

提供強(qiáng)度高于所述第一電子束的強(qiáng)度所述第二電子束；以及

使用所述第二電子束來(lái)二次掃描所述襯底的所述第一剩余區(qū)域，以便提供可見度高于所述第一圖像的可見度的所述第二圖像。

6.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，檢測(cè)所述第二缺陷包括：

測(cè)量所述第二圖像與沒有缺陷的正常襯底的參考圖像之間的電壓差；以及

將所述第二缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述電壓差。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

使用初步電子束來(lái)掃描所述襯底的所述區(qū)域，以及

將所述襯底的所述區(qū)域劃分為圖案化區(qū)域和非圖案化區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述襯底的所述區(qū)域劃分為所述圖案化區(qū)域和所述非圖案化區(qū)域包括：

使用初步電子束來(lái)掃描所述襯底的所述區(qū)域；

獲得初步圖像；以及

將初步缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述初步圖像，所述初步缺陷檢測(cè)靈敏度低于所述第一缺陷檢測(cè)靈敏度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，將所述初步缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述初步圖像包括：

測(cè)量所述初步圖像與沒有缺陷的正常襯底的參考圖像之間的電壓差；以及

將所述初步缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述電壓差。

10.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，獲得所述初步圖像包括：

提供強(qiáng)度低于所述第一電子束的強(qiáng)度的初步電子束；以及

使用所述初步電子束掃描所述襯底的所述區(qū)域，以便提供可見度低于第一圖像的可見度的初步圖像，所述第一圖像是通過(guò)使用所述第一電子束來(lái)初步掃描所述襯底的所述區(qū)域而獲得的。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，使用所述第一電子束來(lái)初步掃描所述襯底的所述區(qū)域包括：使用所述第一電子束來(lái)初步掃描所述襯底的所述圖案化區(qū)域。

12.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

使用第三電子束來(lái)第三次掃描所述襯底的第二剩余區(qū)域以檢測(cè)第三缺陷，其中，所述襯底的所述第二剩余區(qū)域是通過(guò)從所述第一剩余區(qū)域排除所述第二缺陷所位于的第二部分來(lái)定義的。