[發(fā)明專(zhuān)利]檢測(cè)缺陷的方法和用于執(zhí)行該方法的設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811383582.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109839391A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋弦昔;姜仁勇;樸鐘主
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三星電子株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/00
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 趙南;張青

在檢測(cè)缺陷的方法中，可以使用第一電子束來(lái)初步掃描襯底的區(qū)域以檢測(cè)第一缺陷。可以使用第二電子束來(lái)二次掃描所述襯底的剩余區(qū)域以檢測(cè)第二缺陷，所述襯底的所述剩余區(qū)域可以是通過(guò)從所述襯底的所述區(qū)域中排除所述第一缺陷可能位于的部分來(lái)定義的。因此，可以在隨后的掃描過(guò)程中不掃描具有缺陷的部分，從而可以顯著地減少掃描時(shí)間。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

通過(guò)引用方式將2017年11月29日提交的題為“Method of Detecting a Defectand Apparatus for Performing the Same”的韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)No.10-2017-0161876整體并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例涉及用于檢測(cè)缺陷的設(shè)備和方法。

背景技術(shù)

電子束可用于檢測(cè)襯底上的缺陷。根據(jù)一種方法，可以使用電子束來(lái)多次掃描襯底的整個(gè)表面以獲得平均圖像。然后可以將平均圖像與參考圖像進(jìn)行比較以檢測(cè)缺陷。

該方法可能具有若干缺點(diǎn)。例如，無(wú)論是否檢測(cè)到缺陷，都會(huì)使用電子束來(lái)多次掃描襯底的整個(gè)表面。因此，掃描時(shí)間可能很長(zhǎng)。此外，無(wú)論缺陷的大小，都會(huì)使用相同的靈敏度來(lái)檢測(cè)所述缺陷。因此，可能檢測(cè)不到非常小的缺陷。可以使用高靈敏度來(lái)檢測(cè)非常小的缺陷。然而，當(dāng)對(duì)襯底的整個(gè)表面使用高靈敏度時(shí)，會(huì)增加用于檢測(cè)缺陷的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，一種檢測(cè)缺陷的方法包括：使用第一電子束來(lái)初步掃描襯底的區(qū)域；檢測(cè)第一缺陷；使用第二電子束來(lái)二次掃描襯底的第一剩余區(qū)域；以及檢測(cè)第二缺陷，其中，所述襯底的所述第一剩余區(qū)域是通過(guò)從所述襯底的所述區(qū)域排除所述第一缺陷所位于的第一部分來(lái)定義的。

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)其他實(shí)施例，一種用于檢測(cè)缺陷的方法包括：使用初步電子束掃描襯底的整個(gè)區(qū)域；獲得初步圖像；將初步缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述初步圖像；將所述襯底的所述整個(gè)區(qū)域劃分為圖案化區(qū)域和非圖案化區(qū)域；使用第一電子束來(lái)初步掃描所述襯底的所述圖案化區(qū)域；獲得第一圖像；將第一缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述第一圖像，所述第一缺陷檢測(cè)靈敏度高于所述初步缺陷檢測(cè)靈敏度；檢測(cè)第一缺陷；使用第二電子束來(lái)二次掃描所述圖案化區(qū)域的第一剩余區(qū)域，所述圖案化區(qū)域的所述第一剩余區(qū)域是通過(guò)從所述圖案化區(qū)域排除所述第一缺陷所位于的第一部分來(lái)定義的；獲得第二圖像；將第二缺陷檢測(cè)靈敏度應(yīng)用于所述第二圖像，所述第二缺陷檢測(cè)靈敏度高于所述第一缺陷檢測(cè)靈敏度；以及檢測(cè)第二缺陷。

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)其他實(shí)施例，一種用于檢測(cè)缺陷的設(shè)備包括：掃描儀，其使用電子束來(lái)多次掃描襯底以檢測(cè)缺陷；以及控制器，其將所述襯底的剩余區(qū)域設(shè)置為所述掃描儀中的掃描區(qū)域，所述襯底的所述剩余區(qū)域是通過(guò)從先前掃描的區(qū)域中排除所述缺陷所位于的部分來(lái)定義的。

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)其他實(shí)施例，一種包括指令的非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述指令被執(zhí)行時(shí)使控制器控制以下各項(xiàng)操作：使用第一電子束來(lái)初步掃描襯底的區(qū)域；檢測(cè)第一缺陷；使用第二電子束來(lái)二次掃描所述襯底的第一剩余區(qū)域；以及檢測(cè)第二缺陷，其中，所述襯底的所述第一剩余區(qū)域是通過(guò)從所述襯底的所述區(qū)域排除所述第一缺陷所位于的第一部分來(lái)定義的。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參考附圖來(lái)詳細(xì)描述示例性實(shí)施例，各特征對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員將變得明白易懂，在附圖中：

圖1示出了用于檢測(cè)缺陷的設(shè)備的實(shí)施例；

圖2示出了用于檢測(cè)缺陷的方法的實(shí)施例；

圖3示出了具有圖案化區(qū)域和非圖案化區(qū)域的襯底的實(shí)施例；

圖4示出了參考圖像和初步圖像之間的電壓差的示例；

圖5示出了具有通過(guò)初步掃描檢測(cè)到第一缺陷的區(qū)域的襯底的示例；

圖6示出了參考圖像和通過(guò)初步掃描獲得的第一圖像之間的電壓差的示例；