[發明專利]利用具有補償的光信號來執行掩模圖案測量的系統和方法

在審

• 申請號: 201811376093.2
• 申請日: 2018-11-19
• 公開（公告）號: CN110109322A
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 羅志勛;李東根;金熙范
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G03F1/84
• 分類號: G03F1/84
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉潤蓓;尹淑梅

1.一種系統，所述系統包括：

板，構造為用于在其上安裝反射極紫外掩模；

波帶片，構造為將極紫外光分為零級光和第一級光，并構造為使零級光和第一級光傳輸到反射極紫外掩模；

檢測器，構造為接收被反射極紫外掩模反射的極紫外光，并包括構造為產生第一圖像信號的零級光檢測區域和構造為產生第二圖像信號的第一級光檢測區域；以及

計算器，構造為從第一圖像信號和第二圖像信號產生補償的第三圖像信號。

2.如權利要求1所述的系統，其中，第三圖像信號是歸一化的。

3.如權利要求2所述的系統，其中，計算器使第二圖像信號除以第一圖像信號以產生第三圖像信號。

4.如權利要求2所述的系統，其中，所述系統還包括確定器，所述確定器使用第三圖像信號確定反射極紫外掩模上的第一掩模圖案和第二掩模圖案之間的距離。

5.如權利要求1所述的系統，其中，第二圖像信號包括反射極紫外掩模的測量目標區域的信息。

6.如權利要求1所述的系統，所述系統還包括X射線鏡，所述X射線鏡構造為使從極紫外光產生器輸出的極紫外光朝向波帶片反射。

7.如權利要求6所述的系統，其中，零級光檢測區域包括構造為產生各個第一圖像信號的多個零級光檢測子區域。

8.如權利要求7所述的系統，其中，第一圖像信號的相對強度表示被X射線鏡反射的零級反射光的入射角。

9.如權利要求7所述的系統，其中，第一圖像信號具有相等的強度。

10.如權利要求1所述的系統，其中，第一級光檢測區域圍繞零級光檢測區域。

11.一種系統，所述系統包括：

板，構造為用于在其上安裝反射極紫外掩模；

波帶片，構造為將極紫外光分為零級光和第一級光，并且構造為使零級光和第一級光傳輸到反射極紫外掩模；

檢測器，配置為分別檢測由反射極紫外掩模反射的零級極紫外光和由反射極紫外掩模反射的第一級極紫外光。

12.如權利要求11所述的系統，其中，檢測器包括零級光檢測區域和第一級光檢測區域。

13.如權利要求12所述的系統，其中，零級光檢測區域包括多個零級光檢測子區域。

14.一種方法，所述方法包括：

檢測從包括彼此分隔開的第一掩模圖案和第二掩模圖案的反射極紫外掩模反射的極紫外光；

產生與由反射極紫外掩模反射的零級光和第一級光對應的各個第一圖像信號和第二圖像信號；

從第一圖像信號和第二圖像信號產生第三圖像信號；

使用第三圖像信號確定第一掩模圖案和第二掩模圖案之間的距離；

使用反射極紫外掩模在基底上形成圖案。

15.如權利要求14所述的方法，其中，產生第三圖像信號的步驟包括使第二圖像信號除以第一圖像信號。

16.如權利要求14所述的方法，其中，第二圖像信號的強度大于第一圖像信號的強度。

17.如權利要求14所述的方法，其中，第一掩模圖案和第二掩模圖案形成在反射極紫外掩模的測量目標區域中，其中，第二圖像信號包括測量目標區域的信息。

18.如權利要求14所述的方法，其中，產生與由反射極紫外掩模反射的零級光和第一級光對應的各個第一圖像信號和第二圖像信號的步驟包括從檢測器的零級光檢測區域產生第一圖像信號，以及從檢測器的第一級光檢測區域產生第二圖像信號。