[發(fā)明專利]一種多晶表面有機(jī)物不良電池片返工工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811376002.5 | 申請(qǐng)日: | 2018-11-19 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109616551B | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-02-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李鑫;陳建生;許成德 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 橫店集團(tuán)東磁股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 322118 *** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 表面 有機(jī)物 不良 電池 返工 工藝 | ||
本發(fā)明涉及多晶硅太陽(yáng)能電池制作技術(shù)領(lǐng)域,為解決傳統(tǒng)不良電池片返工工藝無(wú)法有效清除有機(jī)物、成品率低的問(wèn)題,提供了一種多晶表面有機(jī)物不良電池片返工工藝,包括以下步驟:(1)將電池片于混合藥液中進(jìn)行兩面清洗;(2)第一水洗槽清洗;(3)第二水洗槽清洗;(4)高溫氮?dú)飧稍铮?5)重新制絨、擴(kuò)散制作PN結(jié)、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)、燒結(jié)、測(cè)試。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單高效,裝置設(shè)計(jì)巧妙,電池片處理效果好,減少電池片表面的復(fù)合,有利于電池片效率的提升;整個(gè)工藝流程資源利用率高,藥液和去離子水用量少,相比原有清洗工藝清洗效率提升0.09~0.12%,電池片A級(jí)成品率,大幅降低電池實(shí)際生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及多晶硅太陽(yáng)能電池制作技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種多晶表面有機(jī)物不良電池片返工工藝。
背景技術(shù)
隨著石油、煤炭、天然氣等不可再生能源不斷減少,能源問(wèn)題日益突出,未來(lái)能源問(wèn)題將成為制約現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)發(fā)展的瓶頸,新能源的研發(fā)與推廣使用得到高度關(guān)注。其中,太陽(yáng)能光伏作為新能源之一,其豐富、潔凈等優(yōu)點(diǎn)被認(rèn)為是最具發(fā)展前景的清潔能源之一。目前,在眾多種類的太陽(yáng)能電池中,晶硅太陽(yáng)能電池占據(jù)主導(dǎo)地位,提高電池的轉(zhuǎn)換效率和提升產(chǎn)品A級(jí)成品率是我們研究的熱點(diǎn)。
目前產(chǎn)業(yè)化的多晶太陽(yáng)能電池片的制造工藝包括制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD、印刷、燒結(jié)、測(cè)試。在多晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)中,由于遇到各種不可控制因數(shù),導(dǎo)致各工序會(huì)遇到各種不良外觀電池片。例如原硅片表面有油污、手指印等,生產(chǎn)中員工沒(méi)有按照規(guī)定佩戴手套或者手套破裂接觸電池片產(chǎn)生手指印、汗?jié)n印等,生產(chǎn)設(shè)備故障等導(dǎo)致油污至電池片表面等,和工藝控制參數(shù)異常等內(nèi)在因素而需要返工,返工比例在1%~10%之間,上述不良片的出現(xiàn),若不做返工處理,它不僅影響多晶太陽(yáng)能電池片的A級(jí)成品率還會(huì)影響轉(zhuǎn)換效率。需要對(duì)不良片返工處理,重新制作出合格太陽(yáng)能電池片。
傳統(tǒng)的返工方法為采用氫氟酸、去離子水混合藥液進(jìn)行表面處理,由于電池片表面有機(jī)物不與氫氟酸反應(yīng),從而無(wú)法有效去除。并且電池片表面有機(jī)物不良片在返工重新進(jìn)行制作電池時(shí)也不能有效去除。從而造成電池片外觀上的不合格,和光電轉(zhuǎn)換效率偏低。因此需要設(shè)計(jì)一種針對(duì)電池片表面有有機(jī)物不良返工片清洗工藝,提高電池片A級(jí)成品率,以及返工電池片光電轉(zhuǎn)換效率,降低電池實(shí)際生產(chǎn)成本。
中國(guó)專利文獻(xiàn)上公開(kāi)了“一種成品晶硅太陽(yáng)能電池片的返工工藝”,其公告號(hào)為CN102629644 A,該發(fā)明將由生產(chǎn)、工藝不穩(wěn)定所導(dǎo)致的低效電池片和外觀不良導(dǎo)致的報(bào)廢片通過(guò)一系列化學(xué)腐蝕的手段,非常簡(jiǎn)便的回收到電池正反面的貴金屬電極,同時(shí)將這些低效、報(bào)廢的電池片還原成原始硅片,重新開(kāi)始常規(guī)的電池工藝流程制作成合格電池片。但是該工藝操作復(fù)雜,能耗高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了克服傳統(tǒng)不良電池片返工工藝無(wú)法有效清除有機(jī)物、成品率低、光電轉(zhuǎn)換效率低的問(wèn)題,提供了一種多晶表面有機(jī)物不良電池片返工工藝,提高返工片的A級(jí)成品率,減少因電池片表面有有機(jī)物而導(dǎo)致成品電池品級(jí)不達(dá)A等級(jí)而降級(jí)、光電轉(zhuǎn)換效率低、甚至報(bào)廢的電池片數(shù)量,非常有效的降低生產(chǎn)成本。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種多晶表面有機(jī)物不良電池片返工工藝,其特征在于,包括以下步驟:
(1)將待清洗多晶表面有機(jī)物不良電池片置于藥液槽內(nèi)的混合藥液中進(jìn)行兩面清洗,所述混合藥液由氫氟酸、臭氧水、鹽酸和雙氧水按照體積比為(5~6):(1~1.5):(1~2):(1~1.5)配制而成;
(2)將經(jīng)步驟(1)處理過(guò)的電池片于第一水洗槽中進(jìn)行清洗;
(3)將經(jīng)步驟(2)處理過(guò)的電池片于第二水洗槽中進(jìn)行清洗;
(4)將經(jīng)步驟(3)處理過(guò)的電池片于干燥槽中,進(jìn)行高溫氮?dú)飧稍铮?/p>
(5)將經(jīng)步驟(4)處理過(guò)的電池片進(jìn)行重新制絨、擴(kuò)散制作PN結(jié)、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)、燒結(jié)、測(cè)試,完成多晶表面有機(jī)物不良電池片重新制作成電池工藝。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





