[發明專利]一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝有效
| 申請號: | 201811376002.5 | 申請日: | 2018-11-19 |
| 公開(公告)號: | CN109616551B | 公開(公告)日: | 2021-02-09 |
| 發明(設計)人: | 李鑫;陳建生;許成德 | 申請(專利權)人: | 橫店集團東磁股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 322118 *** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 表面 有機物 不良 電池 返工 工藝 | ||
1.一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝,其特征在于,包括以下步驟:
(1)將待清洗多晶表面有機物不良電池片置于藥液槽內的混合藥液中進行兩面清洗,所述混合藥液由氫氟酸、臭氧水、鹽酸和雙氧水按照體積比為(5~6):(1~1.5):(1~2):(1~1.5)配制而成;所述藥液槽包括反應槽和儲液槽,所述儲液槽內的混合藥液通過泵浦被抽取進入反應槽,所述反應槽底部與儲液槽頂部之間設有循環管道;所述反應槽內設有噴霧裝置,所述噴霧裝置分布于多晶表面有機物不良電池片的兩側;
(2)將經步驟(1)處理過的電池片于第一水洗槽中進行清洗;所述第一水洗槽包括第一清洗槽和第一儲水槽;
(3)將經步驟(2)處理過的電池片于第二水洗槽中進行清洗;所述第二水洗槽包括第二清洗槽和第二儲水槽;所述第二儲水槽與第一儲水槽之間設有溢流管道,所述溢流管道內設有單向閥,所述單向閥具有由第二儲水槽流向第一出水槽的開啟方向;
(4)將經步驟(3)處理過的電池片于干燥槽中,進行高溫氮氣干燥;
(5)將經步驟(4)處理過的電池片進行重新制絨、擴散制作PN結、刻蝕、鍍膜、絲網、燒結、測試,完成多晶表面有機物不良電池片重新制作成電池工藝。
2.根據權利要求1所述的一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝,其特征在于,工藝流程中,采用鏈式清洗機進行清洗,采用滾輪進行傳送,所述滾輪的傳送速度為1.0~1.5m/min。
3.根據權利要求1所述的一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝,其特征在于,所述儲液槽內設有加熱板,所述加熱板的工作溫度控制在60~65℃。
4.根據權利要求1所述的一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝,其特征在于,步驟(4)中,所述干燥槽內設有氣流通道,所述氣流通道位于電池片兩側,采用壓縮加熱后的高純氮氣進行干燥。
5.根據權利要求1-4任一所述的一種多晶表面有機物不良電池片返工工藝,其特征在于,步驟(2)和(3)中,清洗方式為噴淋式或浸泡式。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L31-04 .用作轉換器件的
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





