[發(fā)明專利]一種晶圓測(cè)試設(shè)備及測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811372448.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN111208400B
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉旭峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州?？滴⒂皞鞲锌萍加邢薰?/a>
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 11237
• 代理人: 祁獻(xiàn)民

1.一種晶圓測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括真空系統(tǒng)及測(cè)試臺(tái)，所述真空系統(tǒng)包括箱體及連接于所述箱體上的抽真空模組，所述測(cè)試臺(tái)設(shè)置于所述箱體內(nèi)；所述抽真空模組包括真空泵，所述測(cè)試臺(tái)包括用于放置晶圓的載臺(tái)，及對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試的探針；

所述測(cè)試臺(tái)可滑動(dòng)的設(shè)置于所述箱體內(nèi)底面上；

所述測(cè)試臺(tái)包括固定座，所述固定座底部設(shè)有滑塊，所述箱體內(nèi)底面上設(shè)有與所述滑塊配合的滑軌，所述測(cè)試臺(tái)通過所述滑塊在所述滑軌上滑動(dòng)；

所述測(cè)試臺(tái)還包括：調(diào)節(jié)載臺(tái)在Y軸方向的位置的第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)所述載臺(tái)在X軸方向的位置的第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；

所述測(cè)試臺(tái)還包括：調(diào)節(jié)所述載臺(tái)在X軸方向的位置的第三調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)載臺(tái)在Y軸方向的位置的第四調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)載臺(tái)在Z軸方向的位置的第五調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及調(diào)節(jié)載臺(tái)水平旋轉(zhuǎn)角度的第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；

所述X軸方向和Y軸方向平行于所述箱體的底面，所述Z軸方向垂直于所述箱體的底面；

所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述固定座上，所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，所述第三調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與第四調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第五調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，其中，所述第四調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)相對(duì)于所述第三調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)靠近所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述第五調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)位于第四調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上方，所述第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)位于第五調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上方，所述載臺(tái)位于第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上；

所述第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括平臺(tái)，在所述平臺(tái)上安裝有所述載臺(tái)，在所述載臺(tái)上設(shè)有用于固定晶圓的壓環(huán)；所述壓環(huán)包括圓弧體，在所述圓弧體內(nèi)側(cè)下邊緣上設(shè)有一用于夾持晶圓邊緣的凹部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試臺(tái)還包括用于鎖緊所述測(cè)試臺(tái)的第一鎖緊機(jī)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試臺(tái)還包括：調(diào)節(jié)載臺(tái)在Y軸方向的位置的第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)載臺(tái)在X軸方向的位置的第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述X軸方向和Y軸方向平行于所述箱體的底面；

所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述固定座上，所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，所述載臺(tái)設(shè)置于所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)底部設(shè)有第一滑塊，所述固定座上表面設(shè)有與所述第一滑塊配合的第一滑軌，所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過所述第一滑塊在所述第一滑軌上滑動(dòng)；

所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上表面設(shè)有第二滑軌，所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)底部設(shè)有與所述第二滑軌配合的第二滑塊，所述第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過所述第二滑塊在所述第二滑軌上滑動(dòng)；

所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為粗調(diào)機(jī)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述第三、第四、第五及第六調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上分別安裝有滑動(dòng)平臺(tái)及設(shè)置于所述滑動(dòng)平臺(tái)上的測(cè)微頭，通過所述測(cè)微頭驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)平臺(tái)滑動(dòng)，以分別對(duì)載臺(tái)在X、Y、Z軸上的位置及在水平方向上的旋轉(zhuǎn)角度微調(diào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有第二鎖緊機(jī)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，在所述第五調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的測(cè)微頭的周向上，設(shè)有用于限制載臺(tái)在Z軸方向上移動(dòng)位置的限位鎖緊件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試臺(tái)上還設(shè)有針卡安裝機(jī)構(gòu)，所述探針安裝機(jī)構(gòu)包括支撐板、針卡固定座及針卡壓塊，所述支撐板立設(shè)于所述固定座上，所述針卡固定座安裝于所述支撐板上、且位于所述載臺(tái)上方，所述針卡固定座上設(shè)有針卡安裝槽，所述針卡壓塊用于固定針卡安裝槽中的針卡。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述針卡中安裝有多根探針。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，在所述箱體頂端設(shè)有透明窗口，所述透明窗口上方設(shè)有顯微鏡。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述箱體上還設(shè)有真空釋放閥。

12.一種晶圓測(cè)試方法，其特征在于，包括步驟：

打開真空系統(tǒng)的箱體門；

將晶圓通過壓環(huán)固定安裝于測(cè)試臺(tái)上，推進(jìn)所述箱體內(nèi)；其中，所述壓環(huán)包括圓弧體，在所述圓弧體內(nèi)側(cè)下邊緣上設(shè)有一用于夾持晶圓邊緣的凹部；

關(guān)閉所述箱體門，開啟抽真空模組對(duì)所述箱體抽真空；

待箱體內(nèi)的真空度達(dá)到預(yù)設(shè)真空度時(shí)，用測(cè)試臺(tái)上安裝的探針對(duì)所述晶圓的待測(cè)單元進(jìn)行測(cè)試。