[發明專利]金屬網格的制備方法及金屬網格片有效
| 申請號： | 201811367076.2 | 申請日： | 2018-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN111197153B | 公開（公告）日： | 2023-01-10 |
| 發明（設計）人： | 唐根初;張學穎;簡建明 | 申請（專利權）人： | 安徽精卓光顯技術有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/02 | 分類號： | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/58;C23F1/02 |
| 代理公司： | 廣州德科知識產權代理有限公司 44381 | 代理人： | 萬振雄 |
| 地址： | 231323 安徽省六*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 網格 制備 方法 | ||
1.一種金屬網格的制備方法，其特征在于，包括步驟：
在基底的表面形成網格狀的溝槽；
在所述基底的表面形成導電金屬膜層；
對位于所述溝槽范圍內的區域進行蝕刻保護；
采用蝕刻工藝對所述導電金屬膜層進行蝕刻，以消蝕所述導電金屬膜層位于所述溝槽范圍外的部分并得到金屬網格。
2.根據權利要求1所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，在基底的表面形成網格狀的溝槽，其步驟為：采用壓印的方式在所述基底的表面形成網格狀的溝槽。
3.根據權利要求1所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，所述溝槽的寬度0.5微米至5.0微米。
4.根據權利要求1所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，在所述基底的表面形成導電金屬膜層，其步驟為：采用濺射或蒸鍍工藝在所述基底的表面鍍覆金屬材料，以形成所述導電金屬膜層。
5.根據權利要求4所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，所述金屬材料為鋁、銅、鉬鋁鉬及鉬銅鉬中任意一種。
6.根據權利要求1至5任一項所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，采用蝕刻工藝對所述導電金屬膜層進行蝕刻，其步驟為：采用酸性蝕刻液對所述導電金屬膜層進行化學蝕刻；
對位于所述溝槽范圍內的區域進行蝕刻保護，其步驟為：向所述溝槽內填充耐酸填充劑，以形成耐酸層。
7.根據權利要求6所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，所述耐酸填充劑為耐酸膠水，所述方法還包括步驟：
利用剝膜液將所述溝槽內由耐酸膠水形成的所述耐酸層去除；
向所述溝槽內填充黑色油墨，以形成覆蓋所述金屬網格的黑色油墨層。
8.根據權利要求6所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，所述耐酸填充劑為耐酸黑色油墨。
9.根據權利要求8所述的金屬網格的制備方法，其特征在于，所述耐酸層的厚度大于所述導電金屬膜層的厚度。
10.一種金屬網格片，其特征在于，包括：
基底，表面形成有網格狀的溝槽；及
覆設于所述溝槽內的金屬網格，其中，所述金屬網格的制備方法包括以下步驟：
在所述基底的表面形成導電金屬膜層；
對位于所述溝槽范圍內的區域進行蝕刻保護；
采用蝕刻工藝對所述導電金屬膜層進行蝕刻，以消蝕所述導電金屬膜層位于所述溝槽范圍外的部分并得到金屬網格。
11.根據權利要求10所述的金屬網格片，其特征在于，還包括覆設于所述金屬網格表面的遮光層，且所述遮光層的厚度大于所述金屬網格的厚度。
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