[發明專利]包括分束器的圖像傳感器

在審

• 申請號: 201811365455.8
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN109801933A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 金政勛;樸商秀;金昶和;金亨容;李范碩;趙萬根;許在成
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 趙南;張青

一種圖像傳感器包括布置在半導體襯底處的多個光電二極管和布置在光電二極管上的分束器。分束器根據波長將入射光分割，使得不同顏色的分割光分別進入不同的光電二極管。分束器包括第一圖案結構，第一圖案結構具有多個折射層圖案在橫向上布置的剖面結構。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2017年11月17日在韓國知識產權局(KIPO)提交的韓國專利申請No.10-2017-0154312的優先權，該申請的內容以引用方式全文并入本文中。

技術領域

示例實施例涉及圖像傳感器。更具體地說，示例實施例涉及包括分束器的圖像傳感器。

背景技術

近來，已經開發了具有小像素尺寸和優良特性的圖像傳感器。

希望這些圖像傳感器通過減少未到達光電二極管的吸收光量而具有高靈敏度。

發明內容

示例實施例提供了一種具有高靈敏度的圖像傳感器。

根據示例實施例，提供了一種圖像傳感器。所述圖像傳感器包括布置在半導體襯底上的多個光電二極管和布置在光電二極管上的分束器。分束器根據波長分割入射光，使得不同顏色的分割光分別進入不同的光電二極管。分束器包括第一圖案結構，第一圖案結構具有多個折射層圖案在橫向上彼此鄰近地布置的剖面結構。

根據示例實施例，提供了一種圖像傳感器。所述圖像傳感器包括：多個光電二極管，其分別布置在半導體襯底的單元像素區中；以及分束器，其布置在半導體襯底的第一表面上，并且與光電二極管間隔開。分束器根據波長將入射光分割，使得不同顏色的分割光分別進入不同的光電二極管。分束器包括在多個折射層圖案中的兩個之間形成在豎直方向上延伸的邊界的第一圖案結構。

根據示例實施例，提供了一種圖像傳感器。所述圖像傳感器包括：多個光電二極管，它們分別布置在半導體襯底的單元像素區中；以及分束器，其布置在半導體襯底的第一表面上，并且與光電二極管間隔開。分束器根據波長將入射光分割，使得不同顏色的分割光分別進入不同的光電二極管。分束器包括第一折射圖案結構，第一折射圖案結構具有多個折射層圖案相對于彼此在橫向上堆疊的剖面結構。

根據示例實施例，圖像傳感器包括分束器。因此，進入光電二極管的光的量可增加，使得圖像傳感器可具有高靈敏度。

附圖說明

圖1是示出根據示例實施例的圖像傳感器的示意性剖視圖；

圖2是示出根據示例實施例的分束器的布置的平面圖；

圖3是示出根據示例實施例的圖像傳感器的示意性剖視圖；

圖4至圖15是用于解釋形成根據示例實施例的圖像傳感器中包括的分束器的方法的剖視圖和平面圖；

圖16是示出在根據示例實施例的圖像傳感器中包括的分束器的剖視圖；

圖17是示出在根據示例實施例的圖像傳感器中包括的分束器的剖視圖；

圖18和圖19是示出用于形成根據示例實施例的圖像傳感器中包括的分束器的方法的剖視圖；

圖20是示出在根據示例實施例的圖像傳感器中包括的分束器的剖視圖；

圖21是示出根據示例實施例的圖像傳感器的剖視圖；

圖22是示出根據示例實施例的圖像傳感器的剖視圖；

圖23是示出根據示例實施例的圖像傳感器的剖視圖；

圖24是示出根據示例實施例的圖像傳感器的剖視圖。

具體實施方式

下文中，將參照附圖更完全地描述示例實施例。