[發明專利]包括分束器的圖像傳感器

在審

• 申請號: 201811365455.8
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN109801933A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 金政勛;樸商秀;金昶和;金亨容;李范碩;趙萬根;許在成
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 趙南;張青

1.一種圖像傳感器，包括：

多個光電二極管，其被布置在半導體襯底上；以及

分束器，其被布置在所述多個光電二極管上，并且根據波長分割入射光，使得不同顏色的分割光分別進入不同的光電二極管，

其中，所述分束器包括第一圖案結構，所述第一圖案結構具有多個折射層圖案在橫向上彼此鄰近地布置的剖面結構。

2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，組合的多個折射層圖案在水平方向的寬度小于組合的多個折射層圖案在豎直方向上的高度。

3.根據權利要求2所述的圖像傳感器，其中：

組合的多個折射層圖案的寬度小于組合的多個折射層圖案的高度的1/2。

4.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述第一圖案結構的折射層圖案包括折射率在2.0至3.0的范圍內的透明材料。

5.根據權利要求4所述的圖像傳感器，其中，所述折射層圖案包括氧化鈦或氧化鈮。

6.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，在所述第一圖案結構中彼此鄰近的折射層圖案包括相同的透明材料或者包括不同的透明材料。

7.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述折射層圖案相對于布置在所述第一圖案結構的中間部分的折射層圖案彼此對稱排列。

8.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，晶界形成在所述第一圖案結構中的彼此鄰近的折射層圖案之間的界面處。

9.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述分束器還包括布置在所述第一圖案結構的上表面或下表面上的第二圖案結構。

10.根據權利要求9所述的圖像傳感器，其中，所述第二圖案結構與所述第一圖案結構的上表面或下表面對齊，或者相對于所述第一圖案結構的上表面或下表面移位。

11.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述分束器在平面圖中具有網格形狀。

12.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中，彩色濾光片布置在所述多個光電二極管與所述分束器之間，并且所述彩色濾光片布置為分別與對應的光電二極管間隔開且彼此面對。

13.根據權利要求12所述的圖像傳感器，其中，所述彩色濾光片包括布置為形成陣列的紅色濾光片、綠色濾光片和藍色濾光片，其中，所述分束器將入射光分割，使得紅光進入所述紅色濾光片，綠光進入所述綠色濾光片，并且藍光進入所述藍色濾光片。

14.根據權利要求13所述的圖像傳感器，其中，所述分束器與所述彩色濾光片間隔開，并且布置為在所述綠色濾光片上在對角線方向上與所述綠色濾光片交叉。

15.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

布置在所述分束器的兩側上的填充層圖案，其中，所述分束器的上表面和所述填充層圖案的上表面布置在同一平面上。

16.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

布置在所述分束器上的有機光電二極管。

17.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

布置在所述分束器上的微透鏡。