[發明專利]一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統

在審

• 申請號: 201811362152.0
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN109374257A
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 張海洋;劉偉;呂文波
• 申請（專利權）人: 蘇州伊歐陸系統集成有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G05D23/32
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本發明公開了一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，包括芯片夾具、由上至下依次設置在芯片夾具下端的溫控板、均溫板、半導體制冷片及散熱裝置；所述均溫板內設置有溫度傳感器；所述芯片夾具包括安裝片、與安裝片連接的真空泵及設置在安裝片端部的一對擋板；所述安裝片內部具有一與真空泵連接的導氣管、與導氣管相連通并延伸至安裝片側面的若干抽氣孔；所述安裝片偏向抽氣孔的一端上下兩側分別具有一導向條。結構簡單，工作方便，采用真空吸附的方式進行進行單顆芯片的吸附固定，同時可以滿足邊發射激光器的發光光斑的發射要求；同時通過芯片的大小調節一對擋板之間的距離，有效控制外露的抽氣孔的數量，防止粉塵吸附。

技術領域

本發明涉及激光器測試用夾具領域，特別是涉及一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統。

背景技術

激光(Laser)是意思是：利用激勵放射來增加光的強度，所謂的(激勵放射)其實就是完成兩個重要的步驟，第一個是：能量激發(Pumping)，第二個是：共振放大(Resonance)。

激光的種類可以分為：氣體激光、液體激光、固體激光與半導體激光，其中半導體激光器的體積是最小、成本最低；嚴格來說，半導體激光也是固體激光的一種，但是由于目前商業上半導體激光的使用量很大，例如：光學讀取頭、光通訊光源、激光指示器等，所以激光已經深刻影響著我們的生活，而激光二極管又可以分為邊射型激光與面射型激光；邊發射激光器因為是側面發光，所以測試只可以單顆進行器件的光電性能測試，因此相對物理尺寸過小再進行光電性能測試時，需要特使的夾具進行固定，同時由于其測試的特殊性，需要測試夾具同時兼顧高低溫與恒溫的功能；現有技術中的裝置結構工作穩定性差，使用壽命短，控制效果差，因此本發明研制了一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，以解決現有技術中存在的問題，經檢索，未發現與本發明相同或相似的技術方案。

發明內容

為了克服上述現有技術的不足，本發明提供了一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，以解決現有技術中裝置結構穩定性差且使用壽命短的問題。

為達到上述目的，本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，包括芯片夾具、由上至下依次設置在芯片夾具下端的溫控板、均溫板、半導體制冷片及散熱裝置；所述均溫板內設置有溫度傳感器；所述芯片夾具包括安裝片、與安裝片連接的真空泵及設置在安裝片端部的一對擋板；所述安裝片內部具有一與真空泵連接的導氣管、與導氣管相連通并延伸至安裝片側面的若干抽氣孔；所述安裝片偏向抽氣孔的一端上下兩側分別具有一導向條；所述導向條沿安裝片長軸方向設置，沿豎直方向的截面呈L型；所述擋板上下兩端嵌套配合在導向條內，并沿導向條長軸方向移動。

進一步的，還包括溫控模塊，所述溫控模塊通過直流電源供電，并分別與溫度傳感器及半導體制冷片電連接。

進一步的，所述溫控板及均溫板均設置在隔熱箱內。

由于上述技術方案的運用，本發明與現有技術相比具有下列有益效果：

(1)結構簡單，工作方便，采用真空吸附的方式進行進行單顆芯片的吸附固定，同時可以滿足邊發射激光器的發光光斑的發射要求；同時通過芯片的大小調節一對擋板之間的距離，有效控制外露的抽氣孔的數量，防止粉塵吸附。

(2)還包括溫控模塊，溫控模塊通過直流電源供電，并分別與溫度傳感器及半導體制冷片電連接，通過溫度傳感器將溫度信號傳遞給溫控模塊，然后溫控模塊依據PID參數進行計算，調節TEC功率，最后將信號輸出給半導體制冷片，通過半導體制冷片進行溫度的調節，從而有效實現控溫。

(3)溫控板及均溫板均設置在隔熱箱內，保證待測單顆芯片的各項參數穩定，提高測試精度。

附圖說明

圖1是本發明所述結構的示意圖。