[發明專利]一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統在審
| 申請號： | 201811362152.0 | 申請日： | 2018-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN109374257A | 公開（公告）日： | 2019-02-22 |
| 發明（設計）人： | 張海洋;劉偉;呂文波 | 申請（專利權）人： | 蘇州伊歐陸系統集成有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00;G05D23/32 |
| 代理公司： | 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陳娟 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 安裝片 邊發射激光器 芯片夾具 抽氣孔 擋板 夾具系統 導氣管 高低溫 均溫板 半導體制冷片 溫度傳感器 真空泵連接 測試 大小調節 單顆芯片 發光光斑 粉塵吸附 散熱裝置 上下兩側 吸附固定 依次設置 有效控制 真空吸附 導向條 溫控板 真空泵 外露 芯片 側面 發射 延伸 | ||
【權利要求書】：
1.一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，其特征在于：包括芯片夾具、由上至下依次設置在芯片夾具下端的溫控板、均溫板、半導體制冷片及散熱裝置；所述均溫板內設置有溫度傳感器；所述芯片夾具包括安裝片、與安裝片連接的真空泵及設置在安裝片端部的一對擋板；所述安裝片內部具有一與真空泵連接的導氣管、與導氣管相連通并延伸至安裝片側面的若干抽氣孔；所述安裝片偏向抽氣孔的一端上下兩側分別具有一導向條；所述導向條沿安裝片長軸方向設置，沿豎直方向的截面呈L型；所述擋板上下兩端嵌套配合在導向條內，并沿導向條長軸方向移動。
2.根據權利要求1所述的一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，其特征在于：還包括溫控模塊，所述溫控模塊通過直流電源供電，并分別與溫度傳感器及半導體制冷片電連接。
3.根據權利要求1所述的一種邊發射激光器測試高低溫及恒溫使用夾具系統，其特征在于：所述溫控板及均溫板均設置在隔熱箱內。
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