[發(fā)明專利]真空系統(tǒng)的調(diào)度方法及調(diào)度系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811358771.2
• 申請日: 2018-11-15
• 公開（公告）號: CN111191866A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王晶
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供的真空系統(tǒng)的調(diào)度方法及調(diào)度系統(tǒng)，包括：設(shè)定默認(rèn)腔室，按等候隊(duì)列次向各個等候腔室分配真空系統(tǒng)，判斷等候隊(duì)列是否有未抽真空的等候腔室，若是，繼續(xù)按等候隊(duì)列依次向各個等候腔室分配真空系統(tǒng)，若否，則根據(jù)默認(rèn)腔室的狀態(tài)對默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空。通過本發(fā)明提供的真空系統(tǒng)的調(diào)度方法，實(shí)時監(jiān)控等候隊(duì)列的狀態(tài)，一旦等候隊(duì)列中不具有未抽真空的等候腔室，則將其分配給默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空，提高真空系統(tǒng)的使用率，同時，有利于默認(rèn)腔室提高真空度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空系統(tǒng)的調(diào)度方法及調(diào)度系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域中，加工系統(tǒng)通常由傳輸腔室、工藝腔室、多個預(yù)真空腔室等組成。晶片從處于大氣狀態(tài)的裝載腔室通過機(jī)械手傳輸?shù)教幱诖髿鉅顟B(tài)的預(yù)真空腔室，然后預(yù)真空腔室通過抽真空操作，使該腔室變?yōu)檎婵諣顟B(tài)，再由傳輸腔室中的機(jī)械手將晶片傳入各個工藝腔室執(zhí)行工藝。其中，工藝腔室進(jìn)行晶片加工需要真空的環(huán)境，因此，工藝腔室需要抽真空操作，同時，傳輸腔室、預(yù)真空腔室需要將晶片傳入到真空環(huán)境，因此也需要真空環(huán)境。

為了節(jié)省成本，幾個腔室共用一個真空泵的現(xiàn)象也非常普遍。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中真空泵的調(diào)度流程圖。如圖1所示，S100，當(dāng)有腔室需要使用真空泵時，提交真空泵使用申請；S101，判斷真空泵是否為空閑狀態(tài)，若是，則執(zhí)行步驟S102，若否，則執(zhí)行步驟S103；S102，將真空泵分配給當(dāng)前的申請的腔室使用；S103，將新申請的腔室排入等候隊(duì)列的隊(duì)尾，進(jìn)行等待。

在上述真空泵的調(diào)度流程中，若需要使用真空泵，則必須由腔室先提交真空泵使用申請，而在真空泵處于空閑階段時，若沒有腔室提出提交使用申請，真空泵則會一直處于空閑，導(dǎo)致真空泵的利用率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種能夠提高真空系統(tǒng)的利用率的真空系統(tǒng)的調(diào)度方法及調(diào)度系統(tǒng)。

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種真空系統(tǒng)的調(diào)度方法，其包括：

設(shè)定默認(rèn)腔室；

按等候隊(duì)列依次向各個等候腔室分配所述真空系統(tǒng)；

判斷所述等候隊(duì)列是否有未抽真空的等候腔室，若是，則繼續(xù)按所述等候隊(duì)列依次向各個等候腔室分配所述真空系統(tǒng)，若否，則根據(jù)默認(rèn)腔室的狀態(tài)對所述默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空。

其中，所述默認(rèn)腔室為能夠持續(xù)抽真空的腔室。

其中，所述默認(rèn)腔室包括傳輸腔室。

其中，在所述判斷所述等候隊(duì)列是否有未抽真空的等候腔室的步驟中，若否，則還包括：

判斷所述默認(rèn)腔室是否在進(jìn)行真空操作，若在進(jìn)行真空操作，則所述真空系統(tǒng)維持空閑狀態(tài)，并返回所述判斷所述等候隊(duì)列是否有未抽真空的等候腔室的步驟，若不在進(jìn)行真空操作，則根據(jù)默認(rèn)腔室的狀態(tài)對所述默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空。

其中，在所述判斷所述等候隊(duì)列是否有未抽真空的等候腔室的步驟中，若否，則還包括：

判斷所述默認(rèn)腔室的壓力是否低于預(yù)設(shè)壓力，若是，則所述真空系統(tǒng)維持空閑狀態(tài)，若否，則根據(jù)默認(rèn)腔室的狀態(tài)對所述默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空，直至所述默認(rèn)腔室的壓力低于所述預(yù)設(shè)壓力。

其中，所述真空系統(tǒng)調(diào)度方法還包括：

在接收到任意腔室提交的使用請求時，判斷所述真空系統(tǒng)是否在對所述默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空；

若是，則停止對所述默認(rèn)腔室進(jìn)行抽真空，并將所述真空系統(tǒng)分配給提交所述使用請求的腔室；

若否，則判斷是否具有等候隊(duì)列，若具有，則將提交所述使用請求的腔室加入所述等候隊(duì)列的隊(duì)尾，若不具有，則將所述真空系統(tǒng)分配給提交所述使用請求的腔室。