[發明專利]真空系統的調度方法及調度系統

在審

• 申請號: 201811358771.2
• 申請日: 2018-11-15
• 公開（公告）號: CN111191866A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 王晶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種真空系統的調度方法，其特征在于，包括：

設定默認腔室；

按等候隊列依次向各個等候腔室分配所述真空系統；

判斷所述等候隊列是否有未抽真空的等候腔室，若是，則繼續按所述等候隊列依次向各個等候腔室分配所述真空系統，若否，則根據默認腔室的狀態對所述默認腔室進行抽真空。

2.根據權利要求1所述的真空系統的調度方法，其特征在于，所述默認腔室為能夠持續抽真空的腔室。

3.根據權利要求1所述的真空系統的調度方法，其特征在于，所述默認腔室包括傳輸腔室。

4.根據權利要求1所述的真空系統的調度方法，其特征在于，在所述判斷所述等候隊列是否有未抽真空的等候腔室的步驟中，若否，則還包括：

判斷所述默認腔室是否在進行真空操作，若在進行真空操作，則所述真空系統維持空閑狀態，并返回所述判斷所述等候隊列是否有未抽真空的等候腔室的步驟，若不在進行真空操作，則根據默認腔室的狀態對所述默認腔室進行抽真空。

5.根據權利要求1所述的真空系統的調度方法，其特征在于，在所述判斷所述等候隊列是否有未抽真空的等候腔室的步驟中，若否，則還包括：

判斷所述默認腔室的壓力是否低于預設壓力，若是，則所述真空系統維持空閑狀態，若否，則根據默認腔室的狀態對所述默認腔室進行抽真空，直至所述默認腔室的壓力低于所述預設壓力。

6.根據權利要求4或5所述的真空系統的調度方法，其特征在于，所述真空系統調度方法還包括：

在接收到任意腔室提交的使用請求時，判斷所述真空系統是否在對所述默認腔室進行抽真空；

若是，則停止對所述默認腔室進行抽真空，并將所述真空系統分配給提交所述使用請求的腔室；

若否，則判斷是否具有等候隊列，若具有，則將提交所述使用請求的腔室加入所述等候隊列的隊尾，若不具有，則將所述真空系統分配給提交所述使用請求的腔室。

7.一種真空系統的調度系統，其特征在于，包括設定模塊、存儲模塊、第一判斷模塊和調度模塊，其中，

所述設定模塊，用于設定默認腔室；

所述存儲模塊，用于存儲等候隊列；

所述調度模塊，用于讀取所述存儲模塊中的所述等候隊列，并按所述等候隊列的順序，將所述真空系統依次分配給所述等待腔室進行抽真空；

所述第一判斷模塊，用于判斷所述等候隊列中是否還有未抽真空的等候腔室，若是，則所述調度模塊繼續按所述等候隊列的順序，將所述真空系統依次分配給所述等待腔室進行抽真空；若否，則向所述調度模塊發送第一指令；

所述調度模塊還用于在接收到所述第一指令后，根據默認腔室的狀態，將所述真空系統分配給所述默認腔室抽真空。

8.根據權利要求7所述的真空系統的調度系統，其特征在于，所述調度模塊還用于，在接收到所述第一指令后，判斷所述默認腔室是否在進行真空操作，若在進行真空操作，則所述真空系統維持空閑狀態，并向所述第一判斷模塊發送第二指令，若不在進行真空操作，則對所述默認腔室進行抽真空；

所述第一判斷模塊在接收到第二指令之后，判斷所述等候隊列中是否還有未抽真空的等候腔室。

9.根據權利要求7所述的真空系統的調度系統，其特征在于，所述調度模塊還用于，在接收到第一指令之后，判斷所述默認腔室的壓力是否低于預設壓力，若是，則將所述真空系統維持在空閑狀態，并向所述第一判斷模塊發送第二指令，若否，則對所述默認腔室進行抽真空，直至所述默認腔室的壓力低于所述預設壓力；

所述第一判斷模塊在接收到第二指令之后，判斷所述等候隊列中是否還有未抽真空的等候腔室。

10.根據權利要求8或9所述的真空系統的調度系統，其特征在于，所述調度模塊還用于在接收到任意腔室提交的使用請求時，判斷所述真空系統是否在對所述默認腔室進行抽真空；

若是，則停止對所述默認腔室進行抽真空，并將所述真空系統分配給提交所述使用請求的腔室；

若否，則所述調度模塊讀取并判斷所述存儲模塊中是否具有等候隊列，若具有，則將提交所述使用請求的腔室加入所述等候隊列的隊尾；若不具有，則將所述真空系統分配給提交所述使用請求的腔室。